光学测试第七章12节分析.ppt

第七章 现代莫尔测量技术 第一节 概述 第一节 概述 “莫尔”（Moire）一词，在法文里是水波纹 或云纹花样的意思。200年多年前法国丝绸工人发 现，当薄的两层丝绸重叠在一起并作相对运动时， 则形成一种飘动的水波纹花样，当时就把这种有趣 的花样叫做莫尔条纹（Moire Fringe）。现在，这 一词被广泛用来表示由两个或多个几何图形重叠所 产生的条纹。 莫尔现象在日常生活中也经常看到，例如两层 窗纱或蚊帐重叠时、在塑料密纹唱片以至交叉编织 的竹篱笆上都能看到各式各样的莫尔条纹。 第一节 概述 一般来说，任何两组（或多组）有一定规律排 列的几何线族的叠合，均能产生按新的规律分布的 莫尔条纹图案。 工业上应用的莫尔条纹（在力学测试领域中有 的译为云纹），一般是由两块等间隔排列的直线族 或曲线族----通常叫做计量光栅----叠合时产生的。 早在1874年，瑞利就认识到莫尔条纹的科学 价值，并利用它来检测光栅刻线间隔的均匀性。 从19世纪70年代到20世纪中叶，由于衍射光 栅制造技术即条纹检测技术水平的限制，莫尔测量 第一节 概述 技术在理论上进展缓慢，在应用上局限于检验透镜 质量，评价栅板质量及测定两栅板间相对位移等狭 小范围。 20世纪50年代开始，英国国立物理研究所 （N.P.L）提出了制造大尺寸、细节距光栅的实用 方法，以及英国人吉尔德（Guild）对交叉衍射光栅 作了详尽研究，并且随着光栅刻划技术及光电子技 术的发展，到了60年代以后，莫尔条纹技术得到了 迅猛的发展。 第一节 概述 目前，莫尔测量技术不仅在机床及仪器仪表行 业中得到广泛应用，而且还扩展到数字控制、自动 跟踪、运动（轨迹）比较、变形测试、物体轮廓测 试等方面。同时由于莫尔测量技术具有适应范围 广，方法较简便，可直接获得全场信息，便于应用 光电接收器和图像处理等优点，作为一种重要的实 验应力分析方法得到广泛应用。 近年来，在测量方法和技术方面，发展了平面 莫尔干涉术、莫尔偏折术、全息莫尔、莫尔三维 第一节 概述 形体测量术、计算机莫尔、扫描莫尔、光栅自成像 莫尔等先进的莫尔测量方法和技术。 在应用方面，莫尔测量技术用于检测光学元件的 折射率、双折射、色散、焦距、像差、出射光束的 准直性，检测激光器的热透镜效应；消除干涉系统 误差，观测各种密度场、温度场、浓度场，检测液 体的不纯度等；在工程科学技术方面，用于测定金 属零件的平面度、薄膜片平行度、液面形状及高度、 复杂零件形状以及在线质量控制等； 第一节 概述 在医学方面，莫尔三维形体测量术被用于测定 和诊断脊椎变形、胸廓、牙床、脚部形状、妇女乳 房病变及孕妇腹部形态等。 总之，莫尔测量技术已成为一门综合了激光技 术、近代干涉仪、傅里叶光学、光学全息、光学信 息处理、计算机科学等现代科学成就的综合学科， 具有广阔的应用和发展前景。 第七章 现代莫尔测量技术 第二节 莫尔条纹的形成原理 第二节 莫尔条纹的形成原理 在莫尔测量技术中 所用到的光栅种类很多。 按光栅参数几何量变化的规律： 按光栅对入射光的调制作用： 按光栅对入射光是反射或反射: 按制备方法 第二节 莫尔条纹的形成原理 按光栅节距的大小 此外，还有平面反射光栅、凹面反射光栅；一维、二维和三 维光栅等。 任何两组（或多组）几何线族的叠合均能产生按新规律分 布的莫尔条纹。在莫尔测量技术中，通常利用两块光栅（光 栅付）或光栅的两个像的重叠产生莫尔条纹，以获取各种被 测量的信息。下面讨论莫尔条纹的形成原理。 一、几何光学原理 莫尔条纹的形成，实质是光通过光栅时产生衍射和干涉的结 果，但是如果在莫尔条纹测量技术中使用的光源为非相干 第二节 莫尔条纹的形成原理 一、几何光学原理 光光源，光栅为节距较大的黑白光栅，光栅付栅面之间间隙 较小时，衍射现象不明显，通常可以按照光的直线传播的几 何原理，用遮光原理来解释莫尔条纹的形成。并可推导出光 栅付结构参数与莫尔条纹几何图形的关系。 （一）栅线遮光原理 当两块黑白光栅互相重叠时，如果 两线光栅的节距不同，或栅线方向不 同，或节距与栅线方向均不同时，均 可形成莫尔条纹。如右图所示为两节距 较大的粗线光栅,光栅节距不同，方向 相同时形成的莫尔条纹。 一、几何光学原理 （一）栅线遮光原理 下图为光栅付的节距相同而光栅方向不同。 当一块光栅的栅线（不透光部分）叠合 在另一块光栅的透过缝隙位置时，在这 些位置上将没有或少有光线通过，此位置 最暗。而在两线光栅栅线互相重叠的区域 或两线光栅栅线交点区域光栅透光部分 没有遮挡，则透光面积最大， 此位