最新切削工具用的纳米复合材料涂膜一划时代的超级涂层.PDF

第18卷第1期 国外难熔金■与硬质材料 2002年 6月 最新切削工具用的纳米复合材料涂膜 — — 划时代的超级涂层 石川 刚史 (日立工具公司成田工场商品开发中心) 1 绪 言 已开发的用作切削工具的涂膜 TiA1N与以往的TiN及 TiCN涂膜相比，具有优异的硬度 和抗氧化性 ，所以近年来它作为切削工具表面处理的一部分是必不可少的。 进一步来说 ，近年来，为 了降低成本 ，从适应切削高速化 ，热处理材料的直接加工以及环境 问题的考虑，采用干式加工，这样切削温度就更倾 向于高温，所以期待着开发出在高温环境下 具有更高寿命的高性能涂层 。 在这样的背景下，许多研究都试图通过在现有的诸如TiN或 TiA1N等硬质涂膜中添加第 2种[1~43或第 3、4种金属元素的方法 改善涂膜物质的性能。可是，现时的状况是代替 TiA1N 涂膜的涂层物质尚未实际应用。 因此 ，针对高硬度钢材的高速 、干式切削，本公司首先研究进一步改善 TiA1N涂膜的硬度 和抗氧化性。研究结果发现，添加Si的TiSiN系涂膜与 目前的TiA1N涂膜相 比，在硬度和抗 氧化性方面明显优越 ，使原来难以加工 的高硬度材料的高效加工成为可能。 在普通钢的高速干式切削方面 ，存在的问题是涂膜与被加工材料粘结 ，导致加工面精度下 降。因此 ，为了改善涂层的耐熔焊性 ，进行了反复的研究。其结果是 ，采用CrSiN系涂层既能使 涂层兼有润滑性和耐磨性两种性能，又可使普通钢的高速干式切削成为可能 。 这样，由于在硬质涂膜 中添加 Si及其对晶粒的抑制作用以及层状结构的最佳化，因而成 功地使得切削工具寿命大幅度提高。 本文介绍了采用PVD电弧离子镀法制取的Si系纳米复合材料涂膜的性能及其涂层的工 具实际加工实例。． 2 高速切削高硬度材料用的TiSiN系涂膜 (划时代的TH系超级涂层) 在高硬度钢铁材料的高速铣削加工方面 ，随着 TiA1N涂膜的开发 ，可切削的硬度逐渐提 高 ，而且 目前 已能进行 50HRC左右材料的常规高速加工 。然而，在 60HRC左右材料的铣削加 工时，工具最终寿命短，而且切削速度仅为 10~20m／min左右 。由于工具寿命短，加工效率低 ， 因而放电加工仍占很大的比例。 在高速铣削加工高于 6OHRC的钢铁材料时，切屑在切削初期就变得十分红热。据报道 ， 升田先生运用工具一热电偶法[6测得的切削温度高达 8O0～9OO(2。因此 ，对于改善这些高硬 度材料的切削加工性能，应重点考虑硬质涂膜的以下两点：①高硬度化；②抗氧化性能的改善， 并要在这两点上下功夫 。 第1期 ：~JII剐史：最新切削工具用的纳米复合材塑涂膜二二 堕 塑塑鲞星 !1 2．1 高硬度化和结晶结构 图 1表示 TiN系涂膜 中Si添加量和涂膜硬 度之间的关系(硬度测定采用纳米压痕法 ，负荷为 9．8mN)。 由图可知，随着 Si添加量的增大，涂膜的硬 Z 毯 度 明显提高。相对于原来硬度值约2800的TiA1N 餐 涂膜而言，TiSiN系涂膜 的硬度在Si添加量最佳 的情况下可约达 3600的水平。 TiSiN涂膜的硬度随Si添加量不 同而不同。 图2表示TiSiN系涂膜的显微结构 。图2(a)是断 面的SEM 照片，可以看到是极其微细 的断面结 Si添加蕾，％ 构 ，其晶界几乎辨认不 出来 。图2(b)是断面的 图 1 TiN系涂膜中Si添加量和涂膜硬度 TEM 照片 ，从 中能辨认 出它是 由数个纳米的微 细晶粒所构成的。进一步来讲 ，能够确认 出与大部 分基体不同的原子序列的区域 (几个纳米)。由此 可见 ，TiSiN系涂膜是 由夹杂着原来切 削工具用 的硬质涂膜所不具有的超细晶粒的结构所组成 的，即所谓的纳米结构涂膜。这些超细晶粒结构被 认为是一般硬质涂膜所不能达到的高