第六章、第七章.doc

现代材料分析方法第六章扫描探针显微镜 郑州大学 刘胜新 6.1 概述 电子探针 电子探针的功能是进行微区分析。它是在电子光学和X射线基础上发展起来的一种高效率分析仪器。电子探针镜筒部分的构造大体上和扫描电镜相同，在检测器部分使用的是X射线谱仪，专门用来检测X射线的特征波长和特征能量，以此来对微区成分进行分析的仪器。 实际上指的就是：能谱仪和波谱仪。现代的扫描电镜通常兼有形貌分析和成分分析的双重功能，即将扫描电子显微镜与电子探针组合在一起使用。 扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope) STM(Scanning Tunneling Microscope)是扫描探针显微镜(SPM)家族中的第一位成员，具有划时代的意义。 STM可以在大气、真空、溶液、惰性气体甚至反应性气体等各种环境中进行，工作温度可以从液氦温度到几百摄氏度。利用STM可以方便地得到样品表面原子级分辨的图像，使人类第一次能够实现对单个原子在物质表面的排列状态的实时观测，开展与表面电子行为有关的各种表面物理化学过程和生物体系的研究。 Pt(001)面的原子排列结构 Si(111)-7×7的原子再构图 在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广阔的应用前景。同时，STM还是纳米结构加工的有力工具，可用于制备纳米尺度的超微结构，还可用于操纵原子和分子等。 尽管STM具有亚纳米级的精度，但由于对样品有非绝缘性的特性要求，只能针对导体和半导体材料进行研究。为了解决这个问题，原子力显微镜(atomic-force microscope，AFM)应运而生，并且同样能够提供原子级分辨率的样品表面图像。 现在已经发展起来以AFM为基础的各种扫描探针显微镜。此后人们在STM和AFM原理的基础上又相继发明了力调制显微镜(FMM)、相位检测显微镜(PDM)、电容扫描显微镜(SCM)、热扫描显微镜(STHM)和近场光隧道扫描显微镜(NSOM)等各种系列显微镜。陆续发展的显微镜有：磁力显微镜(MFM)、横向力(摩擦力)显微镜(LFM)、静电力显微镜(EFM)以及黏弹性测量显微镜等仪器，以满足研究不同性质样品的需要，它们一起组成一个庞大的显微镜家族。 　随后，扫描近场光学显微镜(scanning near-field optical microscope，SNOM)和光子扫描隧道显微镜(photon scanning tunneling microscope，PSTM)，也突破衍射极限的限制，提供纳米级的透射反射等光学图像。 　　从成像机理上讲，这些显微镜都是利用探针在被测样本表面上进行横向和纵向扫描从而引起相关被测量变化的原理来工作的设备，因此国际上把这一系列的显微镜称为扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope，SPM)。 扫描探针显微镜的特点 扫描探针显微镜与光学和电子显微镜的成像方式有明显不同。 扫描探针显微镜的关键部位是一个非常尖锐的探针。控制探针在样品表面作近距离的扫描，检测探针与样品之间的相互作用，并转换为相应的光电信号，通过电子系统的反馈控制和计算机的处理，从而形成了反映样品信息的高精度图像，提供样品表面或内部纳米精度的形貌或其他信息。 不同类型SPM之间的主要区别在于它们的针尖特性及其相应的针尖样品相互作用方式的不同。 一般来说，扫描探针显微镜都是由扫描台、电子学反馈控制机箱和用于图像采集和处理的计算机三个基本部分组成。与其他表面分析技术相比，SPM具有以下优势。 原子级高分辨率。如STM在平行和垂直于样品表面方向的分辨率分别可达0.1nm和0.01nm，即可以分辨出单个原子，具有原子级的分辨率。 可以实时获得实空间表面的三维图像。 可以观察单个原子层的局部表面结构，而不是体相或整个表面的平均性质。 可在真空、大气、惰性气体和反应性气体等不同环境下工作，甚至可将样品浸在水和其他溶液中，不需要特别的制样技术，并且探测过程对样品无损伤。 配合扫描隧道谱STS(scanning tunneling spectroscope，STS)可以得到有关表面结构的信息，例如表面不同层次的态密度、表面电子阱、电荷密度波、表面势垒的变化和能隙结构等。 由于不同的SPM具有比较类似的系统架构，所以不同的SPM可以组合在一起，形成组合显微镜，能够根据不同的物理机理获取样品的不同的物理性质。 正是基于这些优点，扫描探针显微镜在生命科学、纳米科学、材料科学、表面科学等中得到了广泛应用。 6.2 扫描探针显微镜的工作原理 STM的工作原理及应用 STM的工作原理是基于量子力学中隧道效应的相关理论。 STM成为研究单原子分子的理想技术之一，在单分子科学及纳米科学研究