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几种相位解包算法的研究+文献综述 摘要移相干涉技术（PSI）是计量测试特别是三维形貌测量中高精度、高灵敏度的测量方法。它采用非接触式的测量手段，广泛的应用于多种物理量的测试，在高精度光学检测量中占有重要的地位。介绍传统移相数字球面干涉仪的工作原理以及移相干涉术的基本原理，重点研究了相位解包算法。根据解包原理，大致分为两类：1)路径追踪算法，典型算法是区域生长算法。2)最小二乘算法，典型算法是离散余弦变换(DCT)算法和预处理共轭梯度(PCG)算法。在对相位解包算法做了比较深入的研究后，比较各个算法的不同。再编制程序，实现区域增长法。10399 关键词：移相干涉技术，相位解包，区域生长法，模拟仿真 毕业设计说明书（论文）外文摘要 TitleThe Research of Several Kinds of Algorithm of Phase unwrapping Abstract Phase-shifting interferometry (PSI) is a high precise and sensitivity method in testing technology, especially in three-dimensions profile measurement.As for itrsquo;s non-contact metrology method, it is widely used for testing many physical parameters .PSI plays a very important role in high precise optical testing filed. The basic principle of the traditional digital phase-shift wave surface interferometer and phase-shift interferometry is studied. They can be pided into two kinds based on the principle: 1) path tracking algorithm, one typical algorithm is based on the region growing theory.2)the least square algorithm, such as the algorithm based on discrete cosine transform(DCT)and pretreatment conjugate gradient(PCG) algorithm. After a profound research on the arithmetic of phase unwrapping, the differences of all the methods are compared. Then I make programs to recognize the region growing particularly method. KeywordsPhase shifting interferometry, phase unwrapping, region growing method，analog simulation 移相干涉技术的基本原理是在干涉仪的两相干光之间引入有序的位移，当参考光强(或相位)发生变化的时候，干涉条纹的位置也作相应的移动。在此过程中，用光电探测器对干涉图进行多幅阵列网格的采样，然后把光强数字化后存储在帧存储器里，由计算机按照一定的数学模型根据光强的变化求出相位的分布。采用移相算法计算的波面相位，一般是通过反正切函数求得.这些波面数据是被压包(Wrapped)后的波面数据，因为反正切函数将整个波面归一化在[ ]区间内，因而造成了波面的不连续性。为了消除这种相位的跳变，对包裹相位进行解包处理(Unwrapping)是移相干涉测量技术中的一个关键技术问题。 1．2国内外研究现状 1．3主要研究工作 (1)分析国内外相关文献，详细探讨了移相干涉技术并全面研究了数字波面干涉仪的工作原理。 (2)研究各种相位解包算法，进行比较各种算法的优缺点。 (3)选择区域增长算法，利用MATLAB编写相应程序。 (4)进行模拟相位，并且压缩相位，再解包相位，与原相位进行比较。 2移相干涉测量的基本技术 2.1移相干涉技术基本原理 原理是在干涉仪的两相干光的相位差之间引入有序的相位，其参考光程(或相位)变化时干涉条纹的位置也做相应的移动。在此过程中，当光电探测器对干涉图进行多幅阵列网格的采样，然后把光强数字化后存储在帧存储器中，由计算机