全柔性机构与MEMS-光学精密工程.PDFVIP

第9 卷　第 1 期　 光学　精密工程 Vol. 9, No. 1 2 0 0 1 年 2 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G F eb. , 200 1 ( ) 文章编号　1004924X 200 1 0 1000 105 全柔性机构与M EM S 于靖军, 宗光华, 毕树生 (北京航空航天大学机器人研究所, 北京　100083) 摘要: 柔性机构是一种新型机构。首先描述了柔性机构和全柔性机构的概念及特点, 论述了它们与 M EM S 之间的关系。然后详细介绍了全柔性机构在M EM S 领域内包括微装配、微操作等应用背景下的 状况及前景。最后就对全柔性机构研究中的几个关键技术问题如机构的分析、设计及加工, 柔性铰链的 选择与设计, 驱动器的选择及设计等进行了探讨。 关　键　词: 柔性机构; 全柔性机构; 柔性铰链; 微型机电系统 中图分类号: A T P 23　　文献标识码: A tem ) 等应用领域。 目前,M EM S 领域的研究工作 1　引　　言 主要围绕以下专题展开这一前沿技术的攻关: ( 1) 集成化微型仪器与传感器; (2) 微加工与测试技 ( ) ( ) 　　在机构学领域, 一些学者已着手一类新型机 术; 3 微操作系统。其中专题 1 属于真正物理尺 构的研究, 并在国际上逐渐成为研究的热点。就像 度范畴下的M EM S, 即所谓微米纳米技术。专题 [ 1 ] ( ) ( ) 当时的并联机构那样。这类机构被M idh a 等 赋 2 3 所涉及加工、测试、操作的对象当在微观尺 予了一个专门的术语——“柔性机构”。柔性机构 度下, 不过系统本身并不囿于这样的概念。 是指在设计中采用大变形柔性元素, 而非全部采 本文将从机构学的角度来讨论M EM S 产品 用刚性元件的一类机构。这种柔性是我们所希望 的实现方法及途径。为此, 首先详细阐述了全柔性 具有的, 并利用它来输出运动或力, 与通常意义上 机构与M EM S 之间的关系, 然后从不同的应用 的柔性杆(f lex ib le link ) 机构有所不同。 领域出发介绍全柔性机构在M EM S 中的应用。 有一类典型的柔性机构称为“全柔性机构”, 同时也就 目前对全柔性机构研究中的若干关键技 它包括两种: 一种是“具有集中柔度的全柔性机 术做一些初步的探讨。 ( 构”lum p ed com p lian ce com p lian t m ech an ism 简 [2 ] 称L CCM ) , 其特征是用柔性运动副代替了全部