基于fbg的新型微位移测头系统的研究 a new micronano displacement measurement system based on fbg sensor.pdfVIP

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2017-11-02 发布于上海
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基于fbg的新型微位移测头系统的研究 a new micronano displacement measurement system based on fbg sensor.pdf

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基于fbg的新型微位移测头系统的研究 a new micronano displacement measurement system based on fbg sensor

第39卷第5期合肥工业大学学报(自然科学版) VoL39No．5 HEFEIUNIVERSITYOFTECHNOLOGY OF 2016 2016年5月 JOURNAL May doi：10．3969／j．issn．1003—5060．2016．05．002 基于FBG的新型微位移测头系统的研究陈丽娟，陈晓怀，刘芳芳 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥230009) 摘要：为了提高微位移测量系统的测量精度，文章设计了以光纤布拉格光栅(fiberBragggrating，FBG)为传感器的触发式测头系统。该测头采用双FBG悬接式探头传感结构，实时修正温度气流振动等环境干扰的影响；球形的探针结构扩大了测量范围；同时为了降低成本和简化结构，系统采用可调谐匹配光栅法对信号进行解调。利用PI线性微动平台和RenishawXL-80激光干涉仪做出的实验结果表明，该系统量程为30舯，最 rllTl。优分辨力达到10rim，非线性误差为150rim，满量程重复性小于350 关键词：微位移测量；光纤布拉格光栅；双FBG传感结构；匹配光栅滤波法中图分类号：TH89 文献标识码：A 文章编号：1003—5060(2016)05—0582—05 Anew measurementbasedonFBGsensor micro／nano displacement system CHEN uan，CHENXiao—huai，LIU Li—j Fang—fang ， (SchoolofInstrumentScienceand of 230009，China) Opto-electronicEngineering，HefeiUniversityTechnology，Hefei onthefiber is inorderto Al】straet：A measurementbased trigger system Bragggrating(FBG)sensordeveloped the ofthe The usesadouble-FBGsens— improveaccuracy measurement micro-displacement suspendedprobe structure，whichcan thedisturbancesofthevibrationfrom andotherenvi— ing modify temperature。airflow ronmentfactorsinYealtime．Thehasafiberfusedmicro-ball can themeasurement probe tip。whichexpand