飞秒激光偏振角及入射角对金属表面周期结构的影响.pdf

第33卷 第11期 河 南 科 学 V0l-33 No．11 2015年 11月 HENAN SCIENCE NOV．2015 文章编号：1004—3918(2015)1l_1897—05 飞秒激光偏振角及入射角对金属表面周期结构的影响 张靖宇 ， 李智华 (1．山西大学物理电子工程学院，太原 030006； 2．华中科技大学物理学院，武汉 430074； 3．华中科技大学 武汉光 电国家实验室，武汉 430074) 摘 要：飞秒激光对金属Cu、Ag材料表面的烧蚀作用源于飞秒激光超高强的脉冲功率密度，基于表面散射波模型 的理论 ，在实验上探究P偏振飞秒激光偏振角和入射角对金属表面周期性微纳光栅结构的影响．首次通过偏振角 及入射角的双重改变，得到入射角阈值规律，并且得到斜入射时光栅周期随入射角增大的事实． 关键词 ：飞秒激光 ；偏振角；入射角 中图分类号：0437 文献标识码：A TheInfluenceofPolarizingAnglesandIncidentAnglesonFemtosecond Laser-inducedPeriodicSurfaceStructuresonMetals ZhangJingyu， LiZhihua’ (1．CollegeofPhysicsandElectronicEngineering，ShanxiUniversity，Taiyuan030006，China； 2．SchoolofPhysics，HuazhongUniversityofScienceandTechnology，Wuhan430074，China； 3．WuhanNationalLaboratoryfnrOptoelectronics，HuazhongUniversityofScienceandTechnoloyg ，Wuhan430074，China) Abstract：Becauseofthesuperhighpowerandshortpulselength，thesurfaceofmetals(Cu，Ag)canbeablated byfemtosecondlaser．Basedonthetheoryofsurfacescatteringwavemodel，theinfluencesofpolarizingangleand incidentangleonfemtosecondlaser—inducedperiodicsurfaceripplestructuresonmetalsareexperimented．The resultsshowthedisciplineoftheincidenthtresholdanglesindifferentpolarizinganglesand．thereasonoftheincreasing periodsofthelaser—inducedperiodicsurfacerippleswiththeincreasingincidentangles． Keywords：femtosecondlaser；polarizingangle；incidentangle 随着高功率脉冲飞秒激光技术的迅猛发展，脉冲飞秒激光加工技术得到了广泛的应用，在亚微米、三维 加工，超亲水性、超疏水性、超强黏附脱附力等功能材料加工，超高速光通信、新能、源、纳米科学、生物医学等 领域得到广泛应用n ．在激光与物质相互作用领域，自1965年Birnbaum等人首次报道了激光诱导半导体 材料产生的表面周期性结构以来b，人们发现入射飞秒激光的能量密度在材料损伤阈值附近时，在半导体、 金属、电介质材料表面都会产生类光栅周期性结构．其形貌、高度、宽度和光栅条纹方向取决于入射激光能 量密度，脉冲宽度、重复频率、脉冲数、偏振方向和入射角度等 ．国内外研究人员通过间接地观察飞秒激 光烧蚀区域的表面形貌特征，探究激光烧蚀过程中所涉及的准确的物理机制．金属材料是国内外科学家研 究激光物质相互作