飞秒激光制备亚波长周期光栅及其光学特性-北京工业大学学报.pdf

第42卷 第1期 北 京 工 业 大 学 学 报 Vol.42 No.1 2016年 1月 JOURNAL OF BEIJING UNIVERSITY OFTECHNOLOGY Jan. 2016 飞秒激光制备亚波长周期光栅及其光学特性 刘摇 嵩,刘世炳,董祥明,宋海英 (北京工业大学激光工程研究院,北京摇 100124) 摘摇 要:使用中心波长800nm、重复频率1kHz 的飞秒激光,在金属钨表面斜入射下制备了亚波长周期光栅结构, 在入射角为0毅~80毅时,光栅结构的周期为349~620nm. 利用表面等离子体激元的理论分析了在钨表面制备光栅 结构的过程,实验结果与理论符合较好. 利用严格耦合波分析方法计算了实验中得到的光栅结构的反射光谱,其吸 收增强波长大小与光栅结构周期相近. 研究结果表明:利用飞秒激光可以在金属表面直接诱导周期可控的光栅结 构,此光栅结构具有一定的应用前景. 关键词:飞秒激光;光栅结构;表面等离子体 中图分类号:TN249 文献标志码:A 文章编号:0254鄄0037(2016)01鄄0068鄄06 doi:10.11936/ bjutxb2015010019 Emtosecond Laser Fabricating Sub鄄wavelength Periodical Grating Structures and Its Optical Properties LIU Song,LIU Shibing,DONG Xiangming,SONG Haiying (Institute of Laser Engineering,Beijing University of Technology,Beijing 100124,China) Abstract:Sub鄄wavelengthperiodicalgratingstructuresontungstensurfacewasfabricatedbyfemtosecond laserwhosecentralwavelengthis800nmandtherepetitionrateis1kHz. Theperiodofthestructureswas 349鄄620nm when the laser incidence angle was0毅鄄80毅. The formation of grating structures on tungsten was discussed by surface plasmon polaritons theory and the result of experiment showed a good agreement. The reflectance spectra of these grating structure was simulated by rigorous coupled wave analysis method. The enhanced absorbtion peak was closed to the grating period. This study gives a prospect of applications by femtosecond laser fabricating grating structures. Key words:femtosecond laser;grating structures;surface plasmons 摇 摇 激光诱导周期性表面结构 (laser induced 能量在材料的烧蚀阈值附近时,可以在烧蚀区直接 periodical surface structures,LIPSSs)是飞秒激光与 诱导出周期小于激光波长的光栅结构. 近年来,世 物质相互作用研究的一个热点. 飞秒激光以其超短