双光子三维微结构快速制备技术-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ４ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ４ Ａ ｒ．２００７ 　 　 　　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０４０４４１０６ 　 双光子三维微结构快速制备技术 董贤子，段宣明 （中国科学院 理化技术研究所 有机纳米光子学实验室，北京 １０００８０） 摘要：建立了一种利用双光子聚合技术快速制备三维微结构的方法，并对加工分辨率进行了研究。通过对高速扫描原理 的研究，提出了采用二维振镜与一维压电微移动台相结合，利用跳跃和扫描协同的运动模式，以段段扫描方式进行三维 微结构加工的系统来提高其加工速度。实验制备千里马和具有木堆结构的三维光子晶体结构说明，采用上述扫描方式 可使其加工速度较点点扫描方式提高 倍至 倍。实验结果表明，使用一定的激光功率时，其加工分辨率随曝光 １０ １０００ 时间减小而显著提高，实验得到了５０ｎｍ的线宽分辨率，超过文献报道的１００ｎｍ的最高值。研究还表明，上述加工方法 可实现激光三维微结构的快速制备并具有高分辨率加工的特点。 关 键 词：双光子聚合；快速加工；三维微结构；加工分辨率 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ３０５．７ Ａ 　　 犎犻犺狊犲犲犱狋狑狅犺狅狋狅狀犾犪狊犲狉狀犪狀狅犳犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳 犵 狆 狆 狋犺狉犲犲犱犻犿犲狀狊犻狅狀犪犾犿犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲狊 ， ＤＯＮＧＸｉａｎｚｉＤＵＡＮＸｕａｎｍｉｎｇ （ ， 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犗狉犪狀犻犮犖犪狀狅犘犺狅狋狅狀犻犮狊 犜犲犮犺狀犻犮犪犾犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犘犺狊犻犮狊犪狀犱 狔 犳 犵 犳 狔 ， ， ， ） 犆犺犲犿犻狊狋狉 犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿 狅 犛犮犻犲狀犮犲狊 犅犲犻犻狀 １０００８０ 犆犺犻狀犪 狔 狔 犳 犼 犵 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ａｈｉｈｓｅｅｄｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｉｕｅｂａｓｅｄｏｎｔｗｏｈｏｔｏｎ ｏｌｍｅｒｉｚａｔｉｏｎｉｓ ｒｏｏｓｅｄｆｏｒｆａｂ ｇ ｐ ｑ ｐ ｐ ｙ ｐ ｐ （ ） ｒｉｃａｔｉｎ ｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ３Ｄ ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓａｎｄｉｔｓｓａ