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第 卷 第 期 光学 精密工程
15 4
Vol.15 No.4
O ticsandPrecisionEnineerin
年 月 p g g
2007 4 A r.2007
p
文章编号 ( )
1004924X200704044106
双光子三维微结构快速制备技术
董贤子,段宣明
(中国科学院 理化技术研究所 有机纳米光子学实验室,北京 100080)
摘要:建立了一种利用双光子聚合技术快速制备三维微结构的方法,并对加工分辨率进行了研究。通过对高速扫描原理
的研究,提出了采用二维振镜与一维压电微移动台相结合,利用跳跃和扫描协同的运动模式,以段段扫描方式进行三维
微结构加工的系统来提高其加工速度。实验制备千里马和具有木堆结构的三维光子晶体结构说明,采用上述扫描方式
可使其加工速度较点点扫描方式提高 倍至 倍。实验结果表明,使用一定的激光功率时,其加工分辨率随曝光
10 1000
时间减小而显著提高,实验得到了50nm的线宽分辨率,超过文献报道的100nm的最高值。研究还表明,上述加工方法
可实现激光三维微结构的快速制备并具有高分辨率加工的特点。
关 键 词:双光子聚合;快速加工;三维微结构;加工分辨率
中图分类号: 文献标识码:
TN305.7 A
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