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光罩( Photomasking )製程簡介
作 者 : 蘇 漢 儒
光罩( Photomasking )簡介
光罩的原理區分為兩個領域:
1.光罩的圖像可供轉印至晶片
表面。
2.經由光阻劑的感光作用,將
光罩的圖像轉印至晶片表面。
2
光罩( Photomasking )簡介
設計的電子電路經過實驗,驗證符
合需求,才能應用作為設計半導體
元件的電路圖。
將電子電路圖 ,繪製成為光罩圖
像 。
3
光罩( Photomasking )簡介
4
設計光罩( Photomasking )
光罩設計步驟:
1.以2D 的繪圖方式,繪製幾何圖形
的電子電路圖 。
2. 滿足外部輸入及輸出信號連接,以
最小的面積設計每一個電子元件。
5
設計光罩( Photomasking )
光罩設計步驟:(續)
3.將完整的幾何圖形電子電路圖 ,
依製程的需求,分別繪製成許多
層幾何圖形的電子電路圖 。
6
設計光罩( Photomasking )
光罩設計步驟:(續)
4.將每一層繪製完成的幾何圖形電
子電路圖 ,用照相機拍攝縮影,
然後複製縮影的電路圖至玻璃板 。
7
設計光罩( Photomasking )
光罩設計步驟:(續)
5.玻璃板上一格一格整齊排列
複製相同的縮影幾何電子電
路圖 ,此玻璃板為正方型 ,
其邊長依晶片的直徑而定。
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設計光罩( Photomasking )
光罩設計步驟:(續)
6.步驟5 之玻璃板稱為主板
( Master Plate) 。
7. 使用主板複製次主板
( Submaster Plate ) 。
9
設計光罩( Photomasking )
光罩設計步驟:(續)
8.次主板稱為光罩,它係採用
感光玻璃板製成,光罩上面
的圖像可供轉印至晶片表面。
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光 罩
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照像平版印刷術( Photolithography )
光阻劑是一種含感光懸浮物質的
液態化學品,它對水銀電弧燈所
產生的紫藍色光線具有感光作用
它對紅色及黃色光線不具有感光
作用,因此光罩室使用黃光照明
設備。
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