三维角度调节靶架的定位精度分析.pdfVIP

第24卷第lo期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．24，No．10 2012年10月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Oct．，2012 文章编号： 1001—4322(2012)10—2375—06 三维角度调节靶架的定位精度分析。 马 立， 王 坤， 孙麟治， 周莎莎 (上海大学机电工程与自动化学院．上海200072) 摘要： 针对大功率激光装置中送靶机构特性，设计了一种新型三维角度调节靶架，该靶架由一个正切 机构实现回转角度调整。由一套正交分布的正切机构实现=维角度偏摆调整。从靶架机构中的原理误差、结构 误差和牵连误差出发，对角度调节靶架机构的结构参数进行了分析。结果显示：靶架机构误差受直线驱动器位 移、驱动器球头半径、正切机构作用半径、驱动器安装孔角度误差、驱动器圆柱面对中误差、两个正切机构正交 误差、靶杆和回转轴线倾斜角度影响。靶杆和回转轴安装倾斜误差影响较大，球接触误差次之，通过精密装调 及控制系统补偿后此三维角度调节靶架精度可达0．1mrad。 关键词：靶；正切机构；角度调节；误差分析 中图分类号：TP242 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP2375 在大功率激光装置中，实验靶将由送靶机器人从靶室外送到真空靶室中央，通过靶定位系统对实验靶位置 和姿态进行调整，使实验靶精密定位于一个特定的空间位置上，提供多路激光束实验打靶[1～3。实验靶的尺度 很小，而且形状各异，有直径为几mm的球形靶和长度几mm的柱形靶，因此送靶机器人不仅要有三维平移运 动，而且还要有三维角度俯仰一偏摆一旋转运动。这类送靶机器人不仅精度高，而且悬伸距离大，使用环境特殊， 这对机构设计及其控制系统的研制，带来很苛刻的要求。目前国内外研制的ICF靶定位送靶机器人‘”]，通常 采用并联机构，由6个电机驱动，可以实现三维旋转和三维平移运动，具有结构紧凑、刚度大、运动精度高、承载 能力大等特点。但随着ICF靶室直径的增大，例如美国NIF靶室[8-9]直径达10 m，送靶距离须在＼5m以上，这 种并联机器人的体积和重量庞大，而且占空角度位置也增大，容易与靶室中其他器件干涉，影响其应用范围。 为此研制了一种新型的串联送靶机器人，它将三维角度调节机构和三维平移运动机构分开设置，中间通过 连接套筒相连，前者由3个直线位移驱动器驱动，后者由3个步进电机驱动，从而可对靶杆上的实验靶，在真空 环境下实现三维平移和三维角度精密调整，此串联机器人具有结构简单、体积小、重量轻、占空角度小、制作成 本低等特点。本文在论述送靶机器人前端的三维角度调节靶架机构结构基础上，着重对其定位精度进行分析。 l 机械结构 三维角度调节靶架(图1)主要由一个二维角度偏摆机构和一个靶架回转角度调节机构组成，在角度偏摆 调节机构的前端面上安装靶杆和实验靶。靶架回转角度口，调节机构位于调节靶架的后端，其左端面通过法兰 3Dattitude Fig．1 adjustingtarget 图1 i维角度调节靶架 *收稿且期：201卜ll一06；修订日期：2012-03—20 基金项目：国家自然科学基金项目；国家高技术发展计划项目 作者简介：马立(1977一)，女，副教授．主要从事微操作机器人技术的研究；malian@shu．edu．㈣。 强 激 光 与 粒 子 束 第24卷 与二维角度偏摆机构连接在一起。旋转轴使用滚珠轴承安装在基座内，转轴上安装有挡片，直线位移驱动器带 动挡片摆动，通过正切机构的传递实现靶杆的旋转，挡片另一端安装有复位弹簧，可使机构复位。 二维角度偏摆机构位于调节靶架的前端，其核心部分为一套球摆机构，机构由两个正交分布的正切机构组 成，基座内部安装