光学粒子计数器粒径分辨率算法及影响因素的研究.pdfVIP

硕士论文 光学粒子计数器粒径分辨率的算法及影响因素研究 1绪论 1．1悬浮颗粒检测技术 近年来，空气质量越来越受到人们的重视，PM2．5成为茶前饭后的热门话题，悬浮颗粒 检测技术也成为当代研究热点。通常将空气中动力学当量直径大于10微米的悬浮颗粒称为降 时间悬浮在空气中，如道路扬尘等，称为飘尘(AribroneParticle)，又被称为可吸入颗粒， PMl0指标主要测量的就是这类颗粒浓度；而PM2．5测量的是空气中直径小于等于2．5微米 的悬浮颗粒，由于粒径更小，在大气中的停留时间更长，输送距离也更远。有些可吸入悬浮 颗粒是对人体非常有害的，根据颗粒在人体内积存量及性质的不同，会引起不同程度的危害， 例如呼吸道炎症，鼻粘膜溃疡、糜烂，中毒，支气管哮喘和鼻炎，尘肺病等等【11。因此，有必 要对空气中的悬浮颗粒进行检测，并纳入每日空气质量报告中。 在工业生产方面，颗粒的影响也不容忽视，例如，在硅片制造过程中，随着科学技术的 发展，器件尺寸不断缩小，工作环境中颗粒物超标就可能造成产品损坏；再如，内存制造商 生产磁盘时，须保证每立方厘米空气中大于0．2微米的颗粒非常少，因此在半导体加工中要 不断对环境进行实时监测，保证空气中的颗粒浓度满足生产要求。同时，制药业、精密机床 制造业以及一些食品、化妆品制造商也越来越深地认识到生产环境中颗粒物对产品质量的影 响，大力推广洁净环境生产，以提高产品品质。 目前存在基于各种不同原理实现悬浮颗粒检测的方法，它们大致可以分为两大类：取样 法和非取样法。取样法主要有：滤膜称重法、P射线吸收法、压电晶体法、微量振荡天平法： 非取样法主要有：黑度法、光散射法、光透射法。其中非取样法中的光散射法具有测量速度 快、精度高及重复性好等优点，而且能连续测量实现实时监测，因而应用广泛121。目前对悬浮 颗粒的检测主要使用两种仪器，即尘埃粒子计数器和粉尘检测仪，两者都是基于光散射法工 作的，但是测量方式上主要有以下区别：(1)光学粒子计数器是基于单粒子的光散射，而粉尘 检测仪是基于粒子群的光散射。因而粉尘仪通常使用于日常空气中或者粉尘浓度较大的环境 中，光学粒子计数器则由于灵敏度较高，常用于洁净环境检测；(2)在信号处理上，光学粒子 计数器测量结果表现为计数值，粉尘仪测量结果表现为质量浓度。 本文中涉及的激光尘埃粒子计数器通常用于0．3．20微米范围内实时的粒径分布检测，几 乎所有低浓度粒子环境都使用它实现测量，如洁净室或者空气中PM。测量。随着洁净技术在 军工、电子、医疗、制药、食品等领域的应用，洁净环境的重要性正逐渐被人们所认同。特 别是近年来，随着我国在制造业各项标准规程的颁布，使得洁净技术得到更多重视。光散射 1绪论 硕士论文 式尘埃粒子计数器作为洁净室洁净度检测普遍采用的检测仪器，其性能直接影响对洁净室的 评价结果。同时，光学粒子计数器凭借其对气溶胶单粒子计数功能，对工业环境实现实时、 高精度检测，己成为工业生产的重要工具，半导体制造商很早就学会利用光学粒子计数器决 定过滤器的更换频率来节省成本，国外先进国家对过滤器滤料和过滤器性能的检测，甚至高 效过滤器的检漏等也都采用尘埃粒子计数器进行评价D3。 1．2光学粒子计数器发展 光散射法检测粒子已经使用近一个世纪，自1908年GustavMie发表光散射理论后，1926 ParticleCounter)， 年PatterSon和WhytlawGray制作出早期的光学粒子计数器(OPC，Optical 计数器技术已经日趋成熟，并向着微型、更小精度，更高效率、更高浓度的应用发展，市场 上已出现各种类型，适用于各种洁净环境的商用粒子计数器，并在实际应用中快速发展着。 美国在二十世纪八十年代生产出采样量为28．3L加in的大流量尘埃粒子计数器，九十年 产出最小可测粒径为0．1微米的激光粒子计数器【4】，现已具有较高的粒子计数器生产水平，出 现一些知名的粒子计数器生产研发厂家，例如已具有50年粒子计数器研发历史的美国TSI公 ONE 参数要求；作为水质、水文检测仪器的