第8章++晶体薄膜的衍射衬度原理概述.ppt

对于给定的缺陷 是确定的， 是用以获得衍衬图像的某一发生强烈衍射的晶面倒易矢量，即操作反射。 式中 它既可以是整数，也可以是分数。 对于相同的操作反射， 即g不变，对于不同的晶体缺陷，它的位移矢量不同，因而有不同的N 值； R不变（缺陷不变），用不同的g，N 值不同。 讨 论： 当N为整数时，缺陷引起的附加位相角α是2π的整数倍，缺陷对衍射强度的贡献为0，此时，缺陷不显示衍射衬度（不可见） 当N值是分数时，缺陷的存在将引起衍射强度的变化，此时，缺陷显示衬度（可见） 特别地，当N=0时，即，晶体缺陷的位移矢量位于操作反射对应的晶面内，即使有点阵位移，对衍射强度也没有贡献，此时缺陷不可见。 缺陷是否可见的重要判据 ！ 结 论 8.7.1 位 错 1．位错线衬度产生及其特征 位错是一种线缺陷，表征位错晶体学特性的基本物理量是它的柏氏（Burgers）矢量 b 。 根据柏氏矢量与位错线的关系，位错可分为刃型（ b ⊥ u位错线）、螺型（ b // u位错线）和混合型（ b即不平行也不垂直位错线）。 由于位错的存在，在位错线附近的某个范围内点阵将发生畸变，其应力和应变场的性质均与b直接有关。 不管何种类型的位错，都会引起在它附近的某些晶面发生一定程度的局部转动，位错线两边晶面转动方向相反。且离位错线愈远，转动量愈小，如果采用这些畸变的晶面作为操作反射，则衍射强度将受到影响，从而产生衬度。 下而先定性地讨论位错线衬度的产生及其特征 （hkl）位错线畸变晶面 设该晶面的偏离参量为S0，且S00， 位错引起（hkl）晶面额外的附加偏差S/ ，在位错线的右侧，S/0，在其左侧S/0 右侧区域内，晶面的总偏差 S = S0 + S/ S0 左侧区域内，总偏差 S = S0 + S/ S0,, 且在某位置（例如D/）恰巧使S = S0+S/=0，衍射强度最大 在偏离位错线实际位置产生位错线的像，暗场像中为亮线，明场相反 位错像相对于样品中实际位错线的位置偏离的大小和方向，主要取决于偏离参量s的符号（或操作矢量g的指向）及位错本身的性质。 下图是正刃型位错的情况 S’ 0 S’ 0 S’ 0 S’ 0 2．位错可见性的判据 （1）刃位错 对于刃位错，位移矢量 R 的方向不与 b 一致，如图所示。为了分析方便，把刃位错引起的点阵位移矢量分解成平行的分量 R1 和垂直于滑移面的分量 R2，即， 先从两个特例来说明刃型位错的不可见性。 ? 入射束垂直于滑移面 R1 // b R2 B 此时，位错能否可见主要取决于 如图 ? 入射束与滑移面平行 R1 // b R2 B 如图 但 位错仍然可能显示衬度 不能作为刃型位错的不可见性判据 即 刃型位错的位移矢量 R 的表达式 式中，(r,φ) 是垂直于位错的平面上的一点的极坐标，以位错芯为极点， 布氏矢量b为极轴； R 是极坐标为(r,φ)一点处的位移矢量 u 是沿位错线正方向的单位矢量； ? 是泊松比。 因此，对于刃型位错，在理论上，只有当满足 位错的衬度才会完全消失。 实际上，这个条件很难达到，故通常当参数 时，实际上位错就看不见，所以刃位错的不可见性判据为： 位错线正方向的单位矢量。 （2）螺位错 AB为螺位错，布氏矢量为b 取位错周围PQ晶柱 x-晶柱和位错线间的水平距离 y-位错线至膜上表面的距离 z-表示晶柱内不同深度的坐标 t-薄晶体的厚度 R-是缺陷引起的晶柱畸变位移矢量 β - 角坐标，是位错在样品中的位置因数 则有关系 显然R不是常数，它与β有关。当样品中某位置对应β为2π时，点阵位移恰好为b. 由此可知， 一般不会是整数，因此，螺位错的不可见性判据为 由缺陷可见性判据 （3）混合位错 在多数情况下，晶体中的位错是混合型位错，即柏氏矢量既不平行位错线，也不要垂直于位错线。混合位错的位移矢量 R 的表达式比较复杂， 式中，(r,φ) 是垂直于位错的平面上的一点的极坐标，以位错芯为极点， 布氏矢量b为极轴； R 是极坐标为(r,φ)一点处的位移矢量 be 是位错的刃型分量； u 是沿位错线正方向的单位矢量； ? 是泊松比。 其衬度主要取决于： 只有它们同时为零时，位错才不可见。 综上所述，对大多数情况，并非 就一定看不见位错。 使位错消失的充分条件是： 事实上，只要 而 和 二者虽不为0，这时，只有很弱的残余衬度，仍然可视为不可见。 表：弹性各向同性晶体位错衬度消失条件 螺位错 刃位错