用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究.pdfVIP

第4期 华东师范大学学报(自然科学版) No．4 111垒篁圣旦 !呈坚!坠坠呈!曼塑!堡垒!些墼竺堡垒!坚坠!塑!墅圣【墼墅坚!垒!!呈丝呈望21坚!：垫!垒 文章编号：1000-5641(2014)04-0069—08 用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究 卞晓月1， 张健1， 王剑平2， 吉 淳2， 吴一奇2 (1．华东师范大学信息科学技术学院，上海200241 2．上海长望气象科技有限公司，上海201209) 摘要：设计制作了一种基于MEMS技术，可应用于高空湿度探测的薄膜湿敏电容．电容采 用三明治结构，聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感层材料，金作为上、下电极．测试结果表明， 在15％RH一95％RH的全量程范围内，湿敏电容的合格率／80％，灵敏度约为0．29pF／％RH，线 性误差1．5％RH，湿滞较小，响应时间小于4S，温度系数好，具有良好的长期稳定性．研究表 明，制作的湿敏电容综合指标良好，适合批量生产，可以满足高空气象探测要求． 关键词：湿度传感器；湿敏电容；聚酰亚胺；MEMS 中图分类号：TP212文献标识码：A DOh 10．3969／j．issn．1000-5641．2014．04．009 on film sensitive for Studypolyimidehumidity capacitor altitude observation high meteorological BIAN Xiao-yuel，ZHANGJianl，WANG Chun2，WU Jian-pin92，JI Yi-qi2 Science ChinaNormal (1．SchoolofInformation Technology，East University， Shanghai200241，China； and Science 2．ChangwangMeteorologicalTechnology Co．，Ltd．，Shanghai201209，China) Abstract：BasedonMEMS of sensitive Was design technology,ahumidity capacitor described．The sandwich Wasusedasthe capacitoremployed structure，i．e．polyimide and sensitivematerial wasusedasthe showsa humidity gold electrodes．Capacitor good rateof80％．Ascanbeseenfromthe the from pass measure