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电子制造装备; 电子制造与电子制造装备概述 电子制造装备的类别 现代电子制造装备的发展趋势与特点 我国电子制造装备的发展现状;电子制造是国家经济、金融、国防信息系统安全的重要环节，也是显示器、存储器、太阳能电池、光电子器件、通讯器件等主流高技术产业的核心。 电子信息产业是国民经济和国防建设的支柱产业，高水平的电子制造装备则是衡量一个国家或地区科技实力的重要标志。现代电子制造装备横跨电子、机械、自动化、光学、计算机等众多学科，涉及精密视觉检测、高速高精度控制、精密机械加工、计算机集成制造等核心技术，是典型的机光电一体化高科技领域。;电子制造装备对电子制造业的重要性是显而易见的。古人云“工欲善其事必先利其器”，虽然电子制造是近代才发展起来的先进制造技术，但事理是大体一样的。不过古代的“器”只是手工工???，缺乏利器，可能只是效率低一点；现代电子制造可就完全不一样了，没有相应的现代化半导体制造装备，根本不可能制造出各种芯片；没有高效率的先进电子组装设备，产品根本无法在市场上参与竞争。从某种意义上说，制造装备是决定电子制造产业强弱成败的一个关键因素。;二、电子制造装备的类别;2.1 半导体制造装备 硅单晶制造设备，包括硅单晶制造设备（CZ法和FZ法）、圆片整形加工研削设备、切片设备、取片设备、磨片设备、抛光设备和各种检验设备等； 电路设计及CAD设备，包括计算机系统、各种输入输出设备和各种软件等； 制板设备，包括图形发生器、接触式打印机、抗腐剂处理设备、腐蚀设备、清洗设备和各种检验设备等； ;芯片制造设备，包括光刻设备（曝光设备、涂膜、显影设备、腐蚀设备等）、清洗设备、掺杂设备（离子注入设备、扩散炉）、氧化设备、CVD设备、溅射设备、各种测试检测设备和分析评价设备等； 封装与测试设备，包括组装设备（划片设备、键合设备、塑封设备、老化设备）、试验设备（验漏、测试、数据处理设备、环境试验设备）等； 半导体工程设备，包括净化室、净化台、晶圆标准机械接口箱、自动搬送设备和环境控制设备（超净水制造、废气处理、废液处理、精制设备、分析设备、探测器）等。;2.2 电真空器件及平板显示器生产装备 包括显像（显示）管制造设备，真空开关管制造设备，液晶显示器件制造设备，PDP制造设备，真空荧光显示屏(VFD)制造设备，电子枪制造设备等。;2.3 电子元件及机电组件生产装备 包括线束线缆设备，电阻器、电容器和电感器制造设备，敏感组件制造设备，传感器制造设备，晶体振荡器制造设备，滤波器制造设备，频率器件制造设备，磁性材料及元件制造设备，电子变压器制造设备，开关制造设备，接插件制造设备，微特电机制造设备，继电器制造设备，电声器件制造设备，电池生产设备，陶瓷材料设备，线圈制造设备等。;2.4 印制电路板生产装备 包括基板加工设备，压合设备，钻孔成形设备，湿制程设备，丝印设备，检测设备，电镀设备，喷锡设备，压膜机，曝光机，显影机，制板机，烘烤制程自动线以及环境工程设备等。;2.5 组装及整机装联设备 包括SMT焊膏印刷机，喷涂设备，点胶设备，自动插件机，贴片机，接驳台，上下料机，回流焊机，波峰焊机，炉温测量仪，清洗设备，返修设备，自动光学检测设备(AOI)，自动X射线检测设备(AXI)，环境设备，各种辅助设备（零件编带机、钢网清洁机、焊膏搅拌机、锡膏测试仪、元器件及印制电路板烤箱、锡渣还原机等），氮气设备，电缆加工及检测设备等。;2.6 其他装备 环境与试验设备包括高低温/恒温试验设备，湿热试验设备，干燥（老化）试验设备，防护（例防砂/防尘/盐雾/防水等）试验设备，冲击试验设备，振动试验设备，无损检测仪器，电磁兼容测试仪，力学试验设备等。 防静电装备包括防静电生产装备（防静电台车、台垫、周转箱、周转架、元件盒、坐椅等）防静电离子谩备（离子风机、离子风帘等），防静电地板，防静电测试设备（静电场测试仪、表面电阻测试仪、手腕带测试仪等）以及静电消除器等。;超声波设备包括超声波电镀设备，超声波清洗机，超声波焊接设备（塑焊机、熔接机、点焊等机），超声波清洗干燥机，超声波冷水机，超声波熔断机等。 净化设备包括电磁屏蔽设备，气体（氢、氧、氮等）纯化设备，空气净化设备，水、纯化设备，无尘室设备，废水、废气处理设备等。 激光设备包括激光画线机，激光雕刻机，激光焊接机，激光切割机，激光打孔机，激光打标机，激光剥线机，激光测距仪等。 专业工具包括手工焊接工具（电烙铁、热风枪、锡炉等），压接工具以及电动螺丝刀等。;三、现代电子制造装备的发展趋势与特点;3.1 高精度 高精度也称为“高精细”或“精密化”。它一方面是指对产品、零件的精度要求越来越高，另一方面是指对产品、零件的加工精度要求越来越高。有了前者，才要求有后者；有了后者，才促使前者得以发展。近半个多世纪来，微电子工艺尺寸从数十微米、