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第27卷第3期 振动、测试与诊断 v。1．27N。．3 2007年9月 of s。p·2007 JournalVibration，Measurement＆Diagnosis 基于激光三角测量技术的荫罩表面Q值测量 林砺宗 (华东理工大学机械与动力工程学院上海，200237) 摘要应用激光非接触式测量方法测量萌罩表面形状的方法及其对应的Q值，采用三角测量方法对荫罩表面进行 高精度测量。研究网状表面测量中撤光光束可能全部或部分穿透网孔时，有效测量数据的提取问题。采用设定门槛 值的方法对无效数据和受网孔影响较大的数据进行过滤，保留了少量的有效数据。引用数据拟合和插值方法对部 分有效数据进行处理，提取网状表面轮廓的几何尺寸，所得结果重复性良好，并研制了相应的测量设备应用于生产 实践。 关键词 荫罩 激光测量非接触式测量数据拟合 同状表面 中国分类号TH721TP274 值偏小，则曝光时就会产生群聚现象。为了便于在生 l问题的引出 产中对荫罩表面形状进行控制，一般在萌罩外表面 上选定9个特定点，并对其对应的Q值进行测量， 在彩色显像管中玻璃屏内表面与荫罩外表面的 以保证其满足既定的要求。控制Q值的方法主要有 距离即彩色显像管专用术语“Q值”是影响彩管性能 两类：a．直接控制彩管玻壳与荫罩装配之后的距离； 的重要参数之一L14]。如图l所示，F为玻壳设计标 b．分别控制彩管玻壳和荫罩的形状。对于后者来 准值；X值为荫罩外表面到销钉中心的距离，可以 说，控制彩管荫罩的形状特别重要，因为荫罩是一种 用来定义荫罩表面的形状，其值可通过测量方法得 极易变形的零件，所以荫罩表面形状的测量是彩电 到。因此，在生产中常常通过控制荫罩的表面形状来 生产过程中的一个重要环节。 实现对Q值的控制。 荫罩表面形状测量一般可以采用机械零件生产 中常用的测量设备，例如三座标测量仪等o‘7]。但是， 现有三座标测量仪在做荫罩测量方面有几个方面的 缺点：a．测量速度不够高；b．多半是接触方式的；c．后 处理不能满足生产管理的需要；d．测量头本身会引入 误差o]。在综合考虑了现有的三座标测量机的优缺点 之后，本项目研制出了专用的非接触式荫罩表面测量 机。该测量机采用激光测量技术，提高了效率，对网状 表面的测量重复精度达到±20,um。 2激光三角测法 图1荫罩表面形状与Q值的关系 非接触式位移测量技术在国内外已有相当成熟 的应用，主要有CCD测量法，激光三角法阻“、涡流 当玻璃屏内表面某个部分与荫罩外表面上的对 传感器法及视频分析测量法