非接触相对位移传感器.pdfVIP

( ) 　　　　　　　　　　　　传感器技术 Journal of Transducer Technology 　　　　　　　　　　2002 年 第 21 卷 第 12 期 40 非接触相对位移传感器 李 　昆 , 乔智锋 , 张承燕 (信息产业部电子第 49 研究所 ,黑龙江 哈尔滨 150001) 摘 　要 : 为了提高建筑结构中的位移测量准确度 ,介绍了一种基于位置敏感元件的激光非接触位移传感 器 ,对传感器的设计进行了分析。研制的传感器的主要技术参数为工作距离为 0. 4～7 m ,位移幅值 5 mm , μ μ 测量分辨力 1～7 m ,准确度 10 m ,频率响应为 0～100 Hz 。 关键词 : 振动测量 ; 非接触测量 ; 激光 ( ) 中图分类号: TP212 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1000 - 9787 2002 12 - 0040 - 03 Noncontact displacement sensor LI Kun , QIAO Zhifeng , ZHANG Chengyan ( The 49th Research Institute of the Electronics ,Ministry of Information Industry , Harbin 150001 , China) Abstract : In order to increase accuracy of displacement ,a noncontact laser displacement sensor based on position sensi tive detector is introduced. A design of sensor is analyzed ,the main technical parameters of the developed sensor are op erating range 0. 4～7 m ,moving distance 5 mm ,measuring resolution 1～7 μ μ m ,accuracy 10 m ,frequency response 0～ 100 Hz. Key words : vibration measurement ; noncontact measurement ; laser 0 　引 　言 在建筑结构或大型结构研究中 ,层间相对位移 是决定结构变形或倾覆的一个重要指标 , 因此对层 间相对位移的测量也提出越来越高的要求。目前建 筑结构研究中 ,层间相对位移测量均采用以变阻原 理为主的拉线传感器。这种传感器的分辨力及准确 度都比较低 ,难以满足实际要求。基于此 ,研究开发 出一种以位置敏感器件为主的相对位移传感 器[1 ,2 ] ,该传感器工作距离为 0. 4 ～7 m , 位移幅值 μ μ 5 mm ,测量分辨率 1～7 m , 准确度 10 m , 频率响应 为 0～100 Hz. 图1 　位置敏感器件的结构及等效电路 1 　位置敏感器件的工作原理 Fig 1 　Position sensitive detector constitution and equivale