砂轮划片机的工艺研究.docVIP

砂轮划片机切割工艺的改进 声表公司 张 喆 【摘 要】砂轮划片工序是声表面波器件生产中的重要工序，为了有效利用材料和提高成品率，必须将切割道宽度和产生的崩边减至最小。否则将直接影响到整条生产线的产品成品率和生产效率。本文分析研究了砂轮划片机的主轴速度、切割速度、切割深度和冷却方式及流量等工艺参数，并对影响划切道宽度和产生崩边的主要因素进行了详细的阐述。 【关键词】砂轮划片机 硬脆材料 切割工艺。 1 引言 随着科技的飞速发展，电子元器件的质量要求越来越高，而要想提高产品的质量，则需要从设计、生产、检验、运输使用各个环节进行严格的控制。在声表面波器件生产中，各个工序的高质量和高效率是整个生产线高效运转的前提，作为声表面波器件生产后道工序的首个环节，砂轮划片工序的质量和效率直接影响着最终产品的质量以及整个生产线的成品率和生产效率，其重要性越来越明显。 2 砂轮划片机切割时主要会出现的问题 半导体行业所用的材料属于硬脆材料，不同于普通的磨削加工。经过多次试验，我们得出(1)当主轴转速和切割深度固定时，切割进给速度减小，切割道宽度降低。(2)当切割进给速度和切割深度固定时，主轴转速增加，切割道宽度减小。(3)使用顺切模式的切割道宽度比逆切模式的切割道宽度小。利用顺切、慢的切割进给速度、较小的切割深度以及较高的主轴转速，能获得较低的切割力和较小的切割道宽度。 （4）受刀片厚度的影响，而刀片的钝化或进给速度不适合、切割机的轴向振动等现象，都会使切割道宽度变大。(5)切割过程的操作方式、刀片种类、切割条件、振动大小、工件材料以及切割参数等不适合，都可能是引起基片过度破裂的因素。 3 硬脆材料的切割原理 硬脆材料切割原理与金属材料加工有着显著的区别，硬脆材料的硬度高、脆性大，其物理机械性能尤其是韧性和强度与金属材料相比有很大差异，一般硬脆材料用断裂韧性和断裂强度表示材料属性。 材料去除原理一般可分为脆性断裂和塑性变形两大类。通常情况下，脆性断裂的去除方式是通过空隙和裂纹的形成或扩展，剥落以及碎裂等方式来完成的。塑性变形去除方式与金属磨削中的切屑成型过程相似，包括划擦和切屑的形成材料是以剪切切屑形成方式去除的。如图3-1所示，在脆性破坏型时，裂痕是发生在磨粒后方的接触边界附近，往侧向成长而形成裂片；如图3-2所示，在塑性变形时，塑性区域产生在磨粒的前下方，扩大而形成剪切区，产生切屑而去除材料，得到较好的表面状态。 图3-1脆性断破坏型磨削去除原 图3-2塑性变形磨削原理 4 砂轮划片机空气静压电主轴的原理 主轴是砂轮划片机的核心关键部件，在设备中占重要位置。在轴上安装砂轮划片刀并带动刀片高速高精度旋转，采用空气静压支承，无磨擦、无磨损、不发热，对使用环境和切割的材料没有任何污染。同时，气体轴承具有回转精度高和耐低温、高温及辐射等优良特性。因此，空气静压电主轴转速高（一般设定范围在在20000—50000rpm) 、 精度高、振动小、运转性能可靠，可以获得平稳高速的线速度，并可长期保持高精度状态，高的转速可以使超薄的刀片具有较高的钢性来实现切割。通常砂轮划片机上的空气静压电主轴分为两英寸和四英寸，根据切割的材料不同也可以配置相应不同的主轴转数和工艺参数来实施。同时要注意检测与保护，使得主轴得到最好的运转状态。结构简图如图4-1所示。 图4-1空气静压电主轴结构简图 5 砂轮划片机切割工艺方面的主要研究 切割速度、切割深度、刀片冷却、冷却水流量和基片固定等切割参数对切割质量、切割效率、刀片寿命和综合成本起着关键作用。 5．1切割速度 不同材料的切割速度不同，即使同一材料，同一厚度制造工艺不一样，切割速度也有差别。切割速度主要取决于切割材料的性能、切割深度、主轴线速度、刀片性能等． 5．2切割深度对基片的影响 切割深度与刀刃露出量，刀片厚度有直接的关系，刀厚可以切割的深一些，刀薄则切割的浅一些。切割深度直接影响刀的负载大小，也影响刀的寿命。划片机具有多深度切割功能，对于一次难以划透的材料，可以分几次切割。当基片用膜固定划透时，试验发现把膜0.025-0.030mm深时，增加膜的厚度以及划膜的深度，可以减小划切材料的崩边。如图5-1所示。 试验前 试验后 图5-1贴膜深度调整试验前后对比图 5．3刀片冷却对基片的影响 刀片切割基片时磨擦产生热量，需要有冷却液带走刀片和晶片接触区的磨擦热，清理刀片，冲走切割粉沫和润滑切割部位，防止热量转递到芯片而影响器件的性能和延长刀片的寿命，保证切割质量。 5.3.1砂轮划片机冷却机构 采用三点冷却方式，冷却机构如图5-2所示