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磁控溅射zno薄膜的三阶非线性光学特性-吉林大学学报
( )
第 卷 第 期 吉 林 大 学 学 报 理 学 版
55 1 Vol.55 No.1
年 月 ( )
2017 1 JournalofJilinUniversit ScienceEdition Jan 2017
y
: /
doi10.13413 .cnki.dxblxb.2017.01.25
j j
磁控溅射ZnO薄膜的三阶非线性光学特性
1 2 1 1 1
, , , ,
张继德 刘成有 辛春雨 于 卓 董振江
( , ; , )
1.白城师范学院 物理与电子信息学院 吉林 白城 137000 2.通化师范学院 物理学院 吉林 通化 134001
: , 、
摘要 采用磁控溅射技术在 衬底上制备 薄膜 并通过 射线衍射仪 原子力显微
SiO2 ZnO X
、 、 、
镜 紫外 可见分光光度计和荧光光谱仪对薄膜的晶体结构 表面形貌 带隙宽度和光致发光
-
, ( , )
性质进行测试表征 结合飞秒激光 波长为 脉宽 和 扫描方法测量该薄膜的
800nm 50fs Z
, ,
三阶非线性光学特性 结果表明 其三阶非线性折射率和非线性吸收系数均为正值 分别为
.
-18 2/ 和 -11 /
3.50×10 m W 2.88×10 m W.
: ; ; ;
关键词 磁控溅射 氧化锌薄膜 三阶非线性光学 扫描
Z
中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( )
O437 A 1671-5489201701-0145-05
Third-OrderNonlinearOticalProertiesofZnO
p p
ThinFilmb ManetronSutterin
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