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纤锌矿GaN外延层薄膜热膨胀行为的变温Raman散射研究.PDF
纤锌矿GaN外延层薄膜热膨胀行为的变温Raman散射研究
王党会 许天旱 宋海洋
ThermalexpansionbehaviorsofepitaxialfilmforwurtziteGaNstudiedbyusingtemperature-dependent
Ramanscattering
WangDang-Hui XuTian-Han SongHai-Yang
引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,130702(2016) DOI: 10.7498/aps.65.130702
在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.65.130702
当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2016/V65/I13
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物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 65, No. 13 (2016) 130702
纤锌矿GaN外延层薄膜热膨胀行为的变温
Raman散射研究
宋海洋
王党会 许天旱
(西安石油大学材料科学与工程学院, 西安 710065)
( 2016 年1 月22 日收到; 2016 年4 月1 日收到修改稿)
本文对纤锌矿结构GaN 外延层薄膜的热膨胀行为进行了研究, 结合热膨胀系数的物理意义与变温
Raman 散射时声子频移的变化规律, 研究了热膨胀系数与变温Raman 散射之间的关系. 结果表明: 通过测
量Raman 声子 (high), (TO) 和 (TO) 频移与温度之间的线性关系, 结合相应声子Gruneisen 参数的
涵义, 可对纤锌矿结构GaN 外延层薄膜在一定温度范围内的热膨胀系数进行测量. 本文提供了一种表征纤锌
矿结构GaN 外延层薄膜热膨胀行为的有效方法, 为进一步研究III 族氮化物外延层薄膜在生长过程中热膨胀
系数的匹配、降低外延层薄膜中的位错密度并提高发光二极管的发光效率提供了理论依据.
关键词: 外延层薄膜, 热膨胀系数, Gruneisen 参数, 变温Raman 散射
PACS: 07.50.Hp,
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