薄膜材料与薄膜技术3.ppt

应用 现代DLC膜的商业化应用包括微电子工业的微摩擦，潜在应正在探索的应用包括平板显示、生物器件和电子器件等 CNx薄膜材料 理论预言，碳和氮可能形成极硬的具有与 相同晶体结构的共价固体即 ，这种 结构的氮化碳体弹性可与金刚石相比拟，甚至超过金刚石的体弹性模量 低能电子衍射 考虑图中所示的几何构型以及对应于零级衍射和一级衍射信号，在衍射点的角度差为： 如果λ/a=1/3,则 现在假设a～2a,则沿 原子列方向的原子密 度减半。结果是在原 来一组斑点之间出现 新的一组衍射斑，导 致周期性“1/2级斑点”。 尽管根据LEED衍射图标定原子位置不是唯一的，但从真实空间原子的组态可以预言LEED衍射图案的对称性。图中给出了立方晶体（100）表面的层结构例子。在图中的字母P代表单胞为元胞，对于P(2*2)LEED衍射图具有额外的、半级斑点，图中字母C代表单胞在中心处有一额外散射点，它在衍射图中引起（1/2,1/2)斑点。 掠入射角X射线衍射 图中（a）的衍射谱为纯Pd谱而没有基底硅的反射，反射对应于Pd的点阵常数为0.224nm(111)和0.112nm(222).完全反应后形成Pd2Si层的衍射谱，图（b）中所示则显示出立方结构的衍射峰。其点阵常数a=0.6493nm和c=0.3472nm.点阵常数范围从0.3246(110)变化到0.1058nm