白光干涉测表面形貌.docVIP

毕业设计（论文） 题目：基于垂直白光干涉的表面形貌评定参数（Rp、Sv）的研究 院（系） 　　　 机 电 学 院　　 　 专 业 　　　机械工程及自动化　　　 届 别 　　 　2 0 1 3　　 　 学 号 　 　 　　 　 姓 名 　　 　洪 铭 杰　 　　 指导老师 2013年5 月摘 要 随着制造业加工能力的发展，对产品的表面质量要求越来越高，使得表面形貌的测量和评定成为测量技术的研究重点。近年来，种种迹象表明三维形貌测量的需求在不断增加，而传统的光学探针式和接触式测量仪器大多是逐点扫描，在三维表面测量的应用中受到限制。垂直扫描白光干涉测量技术以其高精度、大量程、无相位模糊等特点，逐步受到国内外的重视。垂直白光干涉测量技术为面扫描，测量效率高，是一种较为理想的光滑表面的三维形貌测量方法，已经开始应用在表面微观形貌测量中，特别是有沟槽、阶梯等不连续表面的光学器件和微电子器件光学器件的表面。 二维表面形貌评定的研究很早就有，各国都已制定了相关的标准。然而三维表面形貌的评定仍在探讨阶段，现已提出的一些三维评定参数只是二维评定的扩