化学气相沉积碳化钛的热力学和动力学研究.doc

化学气相沉积碳化钛的热力学和动力学研究 T h e rm o dyn am ic an d K in e t ic S tu d ie s o n C h em ica l V ap o r D ep o s it io n P ro ce s s o f T iC 郭 海 明 舒 武 炳 乔 生 儒 白 世 鸿 孟 国 文 ( 西 北 工 业 大 学 材 料 科 学 与 工 程 学 院 ) Guo H a im in g Sh u W u b in g Q iao Sh en g ru B a i Sh iho n g M en g Guow en (N o r thw e ste rn Po ly tech n ica l U n ive r sity , X i′an ) [ 摘 要 ] 对 采 用 T iC l4 2CH 4 2H 2 反 应 体 系 化 学 气 相 沉 积 碳 化 钛 的 反 应 热 力 学 和 成 核 热 力 学 因 素 进 行 了 分 析 , 并 在 实 验 的 基 础 上 研 究 了 不 同 沉 积 温 度 下 化 学 气 相 沉 积 T iC 过 程 的 动 力 学 特 征 , 以 及 在 不 同 的 动 力 学 控 制 机 制 下 气 相 过 饱 和 度 和 成 核 过 程 对 T iC 涂 层 的 析 出 形 态 的 影 响。在 沉 积 过 程 中 , 气 相 过 饱 和 度 和 动 力 学 控 制 机 制 是 控 制 沉 积 物 的 成 核 过 程 和 析 出 形 态 的 决 定 因 素。 关 键 词 化 学 气 相 沉 积 碳 化 钛 热 力 学 动 力 学 控 制 机 制 成 核 过 程 T h e rm o dyn am ic an a ly se s fo r ch em ica l vapo r depo sit io n ( CV D ) p ro ce ss o f T iC [ A bstra c t ] f rom T iC l4 2CH 4 2H 2 sy stem w a s m ade 1 T h e k in e t ic ch a rac te r ist ic s o f T iC CV D p ro ce ss a t d iffe ren t depo sit io n tem p e ra tu re , an d th e effec t s o f th e sup e r sa tu ra t io n o f th e vapo r an d th e n u c lea t io n p ro ce sse s o n th e depo sit io n m o rp ho lo gy o f T iC co a t in g in d iffe ren t typ e o f k in e t ic m ech an ism h ave b een stu d ied 1 T h e sup e r sa tu ra t io n o f th e vapo r an d th e typ e o f k in e t ic p ro ce ss in vo lved in th e de2 co a t in g a re de te rm in in g fac to r s fo r th e co n t ro l o f th e ir n u c lea t io n an d m o rp ho lo 2 po sit io n o f T iC gy 1 Keyword s ch em ica l vapo r depo sit io n th e rm o dyn am ic k in e t ic m ech an ism 引 言 研 究 主 要 集 中 在 工 艺 参 数 对 沉 积 物 结 构 和 性 能 的 影 响 方 面 , 关 于 化 学 气 相 沉 积 热 力 学 和 动 力 学 研 究 以 及 关 于 气 相 过 饱 和 度 和 成 核 过 程 对 沉 积 物 析 出 形 态 的 影 响 等 方 面 却 鲜 有 报 道。 本 研 究 以 制 备 碳 ?碳 复 合 材 料 的 T iC 防 氧 化 涂 层 为 背 景 , 首 先 对 由 T iC l4 2CH 4 2H 2 反 应 体 系 沉 积 T iC 的 反 应 热 力 学 和 成 核 热 力 学 因 素 进 行 了 分 析 , 并 在 实 验 的 基 础 上 研 究 了 不 同 沉 积 温 度 下 化 学 气 相 沉 积 T iC 过 程 的 动 力 学 特 征 , 以 及 在 不 同 的