高功率垂直腔面发射激光器温升的影响.pdfVIP

第 卷 第 期 ， ３９ 　 ５ 中 国 激 光 Ｖｏｌ．３９ Ｎｏ．５ 　 　 　 年 月 ， ２０１２ ５ Ｍａ ２０１２ ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＡＳＥＲＳ ｙ 　 　 　 　 氧化孔径对高功率垂直腔面发射激光器温升的影响 ， ， １２ １ １ １２ １ １ １ 刘 迪 宁永强 秦 莉 张金龙 张 星 刘 云 王立军 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 １ ， ， 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室 吉林长春 １３００３３ （ ２ ， ） 中国科学院研究生院 北京 １０００４９ （ ） ， 摘要 为了在制作垂直腔面发射激光器 ＶＣＳＥＬ 时选择合适的氧化孔径尺寸 以获得较好的光束质量和较高的输 　 ， 。 ， 出功率 对具有不同氧化孔径的单管器件的热特性进行了实验研究 通过控制氧化时间 制作了氧化孔径分别为 、 、 ， 。 的单管器件 台面直径和 型接触电极直径均为 和 针对 种器件在室温连续工 ４１５ ３８６３１６ ｍ Ｐ ４５０ ｍ ４００ ｍ ３ μ μ μ ， ， 。 、 作条件下不同的输出特性 对它们的热阻进行了实验测量 发现氧化孔径越小时器件热阻越大 通过对比电流 波 ， 。 ， 长及温度的关系 得到了由电流引起的自热效应给 种器件带来的温升情况 注入电流为 时 氧化孔径为 ３ １ Ａ ， ， ， ４１５ ｍ的器件温度为３２．４ ℃ 氧化孔径为３８６ ｍ 的器件温度为３５．２ ℃ 氧