低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计研究.pdfVIP

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2017-12-19 发布于广东
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低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计研究.pdf

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第19卷第5期传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL Oct．2006 ofNovelMicroPiezoelectricCantileverswith Structural Design LowStiffnessand Resonance High Frequency ZHAO Jia—r“。 Gang。CHU Scienceand Precision andPrecision TechnologyofChina，Hefei230027，China) (Departmentof Machinery Instrumentation，Universityof onthe in data novelmicro Abstract：Based storage，a piezoelectric applicationsultra-high—density is the fabrication ismadeaswell．Afteramoreaccuratecantile— designed，andprobe processarrangement ver ofelasticconstantandresonance areeducedfor modelisfounded，formulas frequency cross-sectioned cantilevers．Calculatedwiththeseformulas，theelasticconstant multi—layeredcomposed 4 and245 stud— andresonance ofthe cantileverareN／m frequencydesigned probe on cantileverstructureis theeffectsofcantilever’S mechanical ying geometricparameters performance，the for data optimizedultra—high—densitystorage． data cantilever；structural Keywords：ultra-high—densitystorage；micropiezoelectric onant frequency EEACC：2575；2860 低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计赵钢，褚家如’ (中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，合肥230027) 摘要：以超高密度信息存储技术为应用背景，设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针，并安排了探针加