基于YBCOSTO的频率电调特性研究.pdf

第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报 (3 456 /(3 年 月 #789:: ;$=9? $@ ?$A ’:BC:=’=: C7!8# ， (**, )* $DE / (**, 基于!#$% ’$ 的频率电调特性研究! 朱昀亮 许伟伟 曹春海 吴立勇 孙国柱 杨森祖 吴培亨 南京大学电子科学与工程系，南京 ()**+, 对铁电材料 （ ）薄膜的介电性质及其在微波器件特别是高温超导滤波器频率 -’.$ ’$ , 调节方面的应用进行了研究/ 在相关理论分析和软件仿真计的基础上的计算，获得了电调微 带线谐振器的频率调节范围等电特性与器件结构参数的关系 我们采用 作为 薄 / !#$ ’$ 膜的驱动电极，使用脉冲激光沉积的方法制备了叉指结构的电调薄膜/ 利用微波近场显微镜 测量了电场对’$ 薄膜的介电性质的影响/ 关键词 ：铁电薄膜，电调谐，介电性质，高温超导滤波器 ) 引 言 高温超导滤波器具有低损耗、高带外抑制、低功耗等优点，已被广泛的应用于移动通信 基站的接收机前端 为了获得更高的频带利用率，需要各种新颖并且设计指标要求更加严格 / 的多级滤波器 然而，严格的设计指标也对设计、制造过程提出了更高的要求 事实上，在严 / / 格的设计要求下，材料本身某些特性参数的不均匀性已会使实际滤波器的性能不符合设计 要求/ 在滤波器的使用过程中，材料老化、温度波动等因素都会影响其性能/ 为了克服以上这些不利因素，具有频率微调能力的高温超导滤波器正逐渐受到人们的 关注 主要的频率调节方法有电调谐、磁调谐和机械调谐 相比之下，电调谐具有调谐速度 / / 快、体积小、功耗低等优点，应用前景广阔/ 目前在滤波器频率电调谐方面，国际上已有使用压电材料予以实现，利用其在电压作用 下的微小形变进行调谐/ 同时，利用铁电材料如’ 和’$ 在低温下的介电性质，也可以实 现滤波器的频率微调/ 本文主要研究了’$ 薄膜的介电性质，并对其在微波器件频率调节 方面的应用进行了探讨/ ( 电调微带线谐振器的仿真计算 ’$ 薄膜是一种常见的铁电材料，其晶格常数与!#$ 高温超导薄膜十分接近，有利于 薄膜的生长 它的相对介电常数远大于常见的介质材料，大约为数百，甚至上千，具体 !#$ / 国家重点基础研究发展规划项目（编号： ）和国家高技术研究发展计划资助的课题 ! 0)+++*121 / BM? 低 温 物 理 学 报 B@ 卷 数值与相应的薄膜制备条件有关 在低温条件下， 薄膜的相对介电常数受到电场的作 ! #$ 用，会发生显著变化 利用这一点，就可以实现微波器件的频率电调谐 !