无机电致发光显示器件中上电极成形的光刻方法研究.pdfVIP

oLED 2006 无机电致发光显示器件中上电极成形的光刻方法 刘红君陈涛张弈徐毅肖田 上海广电电子股份有限公司平板显示技术研究开发中心上海200081 缘层一发光层一绝缘层一金属)结构，如图1(a)所示，其中有 一侧电极是透明的以使发射的光透过。图1(b)示出了无机EL 器件的理想等效电路。在阈值电压以下，上、下绝缘层和发 摘要 光层的作用相当于一个电容，发光层在器件工作时击穿，其 文中描述了用光刻的方法在无机电致发光显示器件上制作上 电极的方法，主要介绍了一种不含水的负型光刻胶及配套的 上的区别是TFEL上、下绝缘层通常是对称的，厚度在0．3—0． 纯有机显影液、漂洗液等辅液的使用。利用这种不含水的光 5斗m之间，为底发射结构，TDEL为顶发射结构，下介质层 刻胶及辅液，光刻抬离使器件上电极成形，这种纯有机试剂 为厚20斗m的钙钛矿型高介电常数介质【41，上介质层的厚度 可以减少对器件中发光层及介质层的破坏…，达到精细光刻上 只有50nm。绝缘层外侧的透明电极是数据线，目前主要为 电极的目的。简要比较了此种方法与直接掩模法对器件的影 响，并提出了改进措施。 发光材料有硫化物和氧化物两大系列。 关键词 无机电致发光显示器件负性光刻胶显影液漂洗液光 刻抬离直接掩模 1、引言 图1(a)底发射的无机EL显示器件结构简图(b)等效电路 无机EL显示器具有主动发光、全固体化、耐冲击、视角 of ELdevice Fig．1(a)Schematicdiagraminorganic 大、响应速度快、适用温度宽、工序简单、寿命长、造价低 circuit (b)Equivalent 廉等优点，其中最大的优点是唯一的全固态平板显示器，抗 震能力强，工作温度范围宽，可在恶劣环境下使用，在大中 2、上电极成形方法介绍 小型显示屏的应用方面均有着十分广阔的发展前景。无机EL 目前有薄膜电致发光器件(TFEL)㈨和厚膜电致发光器件对于不同结构的无机器件，上电极都需要制作成条状电 极，一般上电极成形方法有直接掩模法、湿刻、干刻或激光 (TDEL)【31两大主流技术。在世界范围内，TFEL的产业化水 平以美国的Planar 成形等。直接掩膜对粗精度的器件是简单合适的办法，但对 Systems为代表，产业化目前只停留在单 色和多色的水平上，TDEL以加拿大的iFire 于高精度的精细线条成形，直接掩膜法则难以实现，而干刻 Technology为代 或激光成形又需要昂贵的设备。因此本工作采取湿刻方法成 表，于2004年5月在西雅图召开的SID年会上展出了34英寸 WXGA(1280x768)全彩色样机。 形上电极。无机EL器件上电极的成形是在发光层和介质层成 膜后进行的，这样器件在光刻成形上电极时会使发光层和介 无