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湿度仪种类和校准方法的研究 于洋 宋庆明 王雅婷 中昊光明化工研究设计院有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 X 关注成功！ 加关注后您将方便地在 我的关注中得到本文献的被引频次变化的通知！ 新浪微博 腾讯微博 人人网 开心网 豆瓣网 网易微博 摘????要： 湿度是气体纯度的一项重要指标, 其数值直接关系到企业产品质量和生产安全。由湿度衍生出的各种原理的湿度仪种类繁多, 优缺点各异。本文主要介绍若干常见湿度仪的种类和原理, 常用新型传感器的种类和原理, 当前湿度仪校准的常规方法, 同时介绍一种操作简单、经济适用、在线免拆、现场校准的新型化学转化湿度校准仪的相关原理, 给出相关的校准流程, 该方法可以解决目前湿度计校准的送检模式, 并有望替代现有校准模式的趋势。 关键词： 湿度; 湿度校准化学转化; 湿度校准法; 作者简介：于洋 (1986) , 男, 工学硕士, 工程师, 化学工业气体质量监测中心从事分析工作 收稿日期：2017-06-29 Research the Tapes of Hygrometer and Calibration Method YU Yang SONG Qingming WANG Yating Dalian Guangming Gas Quality Supervision and Inspection Center of Chemical Industry Co., Ltd., Zhonghao Guangming Research Design Institute of Chemical Industry Co., Ltd.; Abstract： The humidity is one of the important of the gas purity, thatis directly related to the product quality and production safety. Many kinds of hygrometers are based on various principles derived from the humidity, and they have their own pros and cons. The paper describes a number of common types and principles of the hygrometers, commonly used new types of sensors and principles, and the traditional model of dew-point meter calibration. The paper also introduces a new kind of principle of chemical conversion humidity calibrator, which is simple, affordable, online without dismantling, and calibrated in the field and gives the relevant calibration process. The method of calibration may change the current submission mode of hygrometer calibration, and is expected to replace the existing calibration mode. Keyword： humidity; humidity calibration chemical conversion; dew-point method; Received： 2017-06-29 0 引言 气体已渗透工业、农业、航天、微电子行业等各个领域中, 每个行业对气体纯度都有不同程度的需求。湿度是气体各项指标中一个重要参数, 直接关系到生产安全和产品质量[1]。虽然湿度的测定方法相对于其它杂质含量的测量起步较晚, 且容易受压强、温度等多种因素影响, 是最难准确定量的技术参数, 但气体中水分含量确是各个行业要求特别苛刻和关键的指标参数, 因此湿度测量是有必要的[2]。 随着时代的发展, 科技的进步, 各个领域对湿度测量精度、响应速度、准确度、使用环境、使用寿命等要求也越发严格, 尤其准确度是每个用户最为关心的焦点, 因此湿度计量和校准就是不得不面对的现实问题。本文主要介绍常见水分仪的种类及相应原理, 同时简单描述一种新型的、便携式、可实现在线校准的化学转化湿度校准方法, 并提出方法的可行性。 1 常见湿度