含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析_待续_.docxVIP

含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析（待续）陈鸿昌（全国无机氟化物协会，天津 300131）摘要 介绍了属于高端无机氟精细品的部分含氟特种气体及电子化学品氟气、六氟化硫、六氟化钨和五氟化碘等，这些产品大多用于电子、新材料、航空航天等高新领域，普遍具有 技术含量、产品附加值较高的特点，在国民经济中占有重要地位。 叙述了产品性能、生产方 法、用途、国内外市场现状、生产厂家规模及分布等。关键词 含氟特种气体；含氟电子化学品；高端；竞争力中图分类号 TQ124.3文献标识码 CDOI 10.3969/j.issn.1006-6829.2010.06.001较长时间以来， 人们对我国的氟化工应该朝哪个方向走不断地提出问题，也发表了众多的观点，大 多数人认为是要向国外看齐，要加快结构调整、加强 研发、引进人才等等。 实际上尽管差距不小，氟化工 还是正在向精细、高端、优质并具有高附加值方向发 展着。含氟特种气体可分为元素氟（氟气）、六氟化硫（SF6）、六氟化钨（WF6）及其他含氟特种气体。我国含 氟特种气体已有十几个品种， 其中产量最大的为 SF6，其他已工业化的产品有纯氟气、氟氮混合气、四 氟化碳（CF4）、三氟化氮（NF3）等。 电子工业气体主要 用于薄膜沉积，如化学气相沉积（CVD）或物理气相 沉积（PVD），这些技术主要用来制造半导体或光伏 电池。电子化学品主要包括集成电路和分立器件用化 学品、印制电路板配套用化学品、表面组装用化学品 和显示器件用化学品等。 集成电路用电子化学品包 括 4 类关键产品，最重要的一部分是超净高纯试剂。 超净高纯试剂主要是氢氟酸 （HF）、 氟 氢 化 钾（KHF2）、氟化钾（KF）、氟氢化铵（NH4HF2）及各种含氟无机盐的超净高纯制品。本文就部分含氟特种气体和电子化学品市场现 状作简单介绍并略作分析。用来进行选择性氟化。 氟气的溶解性差， 反应一般在气液两相表面进行；又因反应放热，所以在反应表 面极易形成热点加速副反应的进行。为减少副反应， 通常用惰性气体（如氮气或氩气）来稀释氟气，以使 氟化反应容易控制且提高氟化选择性。 这种稀释氟 气商业化以后， 氟气在氟化合成中的应用逐渐得以 推广。1.1 理化性质氟气常温下为淡黄色气体， 有强烈的刺激性气 味，该气体在冷却到 144 K、压缩到 5.5 MPa 条件下 即可成为浅黄色-桔红色液体。 氟气是强氧化剂，与 金属单质、盐类、氧化物的反应大多比较激烈，其中 碱金属、 碱土金属一旦碰着氟气就会自燃。 氟气几 乎可以和所有的有机物反应， 生成氟碳化合物和氟 化氢，醇、酸、醛和胺与氟气反应也很剧烈，且与有机 物作用时通常伴有着火燃烧或猛烈爆炸。 由于氟气 进行反应时放出大量的热， 有机物分子结构遭到破 坏，为使反应缓和，一般用大量惰性气体（如氮气）加 以稀释，降低反应温度（＜78 ℃），或加入分散得很细 的金属填料以利于散热。 干燥的玻璃与干燥的氟气 通常反应很慢，当氟气中含有 OF3 时，玻璃会迅速被 侵蚀，反应生成四氟化硅（SiF4）。 只有石英玻璃对氟 具有良好的稳定性。氟有着最高的电负性，原子半径最小，几乎能与 所有的元素反应，被应用于制取各种金属、非金属的 化合物；同时由于氟原子体积小，可以较多地围在其 他较大原子的周围，形成许多氟化合物，有机化合物 中的氢原子大多可被氟原子取代， 形成众多的含氟氟气氟气（F2）的发现至今已有 100 多年的历史， 氟 气活性虽高但危险性也大， 所以一般不便直接应用 于有机物的氟化反应，直到上世纪 60 年代后才开始1收稿日期：2010-10-13陈鸿昌 含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析（待续）氟化工·2·有机化合物。氟气与氯、 溴、 碘均可直接化合生成各种氟化 物 ， 如 ClF3、ClF5、BrF3、BrF5、IF5 和 IF7 等 ， 其 中 ClF3电子工业：在微电子工业中常用的一些气体，如NF3、三氟化磷（PF3）、三氟化硼（BF3）、CF4 和 SiF4 等，均可以通过相应元素与氟的化学反应合成。医疗和医药：用氟与氩、氦、氖、氮等惰性气体按 不同比例混合， 可配置眼外科手术所需的准分子激 光气。 可在 90 ℃温度下于质量分数 1%的脲嘧啶水溶液中通入稀释氟气而制得抗癌药物 5-氟脲嘧啶。由于它对 α 粒子遏止能力很强，因而也能应用在放 射化学中。氟气还广泛应用于火箭燃料中的氧化剂、 分离 铀同位素（UF6）的氟化剂、半导体激光蚀刻、大功率 的激光切割与焊接。 在氟化剂的制备上也有较多应 用，如用于制备全氟烷等，延伸产品有全氟油脂和代 血液原料。1.3生产工艺目前氟气制取主要通过电解无水 HF（AHF）。 但 AHF 的电导率很低，一般不适合作为生产元素氟的 电解