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半导体IC切割SSS培训教材.ppt

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半导体IC切割SSS培训教材

SSS培训教材 第一章 V2 Handler 的各部分机械调节的方法 Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整 按下E-Stop,转动Turret,检查运动顺序是否正确: 外环下?内环下?外环上?内环上 确定吸嘴的位置,在Reject Boat,Good Boat以及Orientater处的位置是否在正中间 。 Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整 8个吸嘴是否在同一个高度 方法:在XY Table上面确定一个固定点,转动Turret,看每一个吸嘴接触定点的高度是否相同,调节上方顶杆和杆套,选取高度平均值,使各吸嘴处于同一高度。 检查吸嘴在XY Table,Reject Boat,Good Boat以及Orientater处的高度是否满足要求: Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整 Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整 检查XY Table 在XY轴向的平行度: 固定一个吸嘴,转动XY Table 在X,Y轴向的马达,移动XY Table Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整 Good Boat——802 sensor,Reject Boat——801 sensor 调节时Boat必须在Arm的正下方 Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整 Washing Drying: Washing冲洗次数为3~6次,速度为80mm/s Drying烘烤次数为8~10次,速度为60mm/s,温度设定为2~3 若在正常设定下发现不能清洗干净不能烘干,则必须检查如下: Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整 Flipper检查 Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整 Lead in 检查: 检查Sensor高度,皮带是否磨损导致Substrate不能到位,检查轨道宽度 Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler 机械位置调整 Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Saw 机机械位置调整 Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Saw 机机械位置调整 第二章 换刀程序 退出主菜单.进入换刀菜单.如图 按F1进入换刀界面 二: 用换刀工具把新刀换上.(重要部分,需现场指导和培训 ) 换刀工具如下: 装刀顺序如图 换刀要按照以上顺序进行安装保证每部分要正确和到位.并保证每部分清洁 进入测高菜单 选择F3测高模式后进入 开始自动切割由技术员观察切割质量 注意事项: 1:换刀时,需对刀架周围和刀架本身进行清洁.以防止sub残渣卡在刀架上造成切偏缺陷和掉真空报警。 2:清洁刀架两侧的冷却水管。以防水管堵塞造成刀片冷却不够,使刀片变形导致刀痕变大产生的切偏缺陷. 第三章 打磨法兰程序 进入打磨程序.如图 打磨高度和距离 进入设定程序.对各参数进行校对后开始打磨 第四章 Saw PR 完成PR 第五章 HANMI更换程序。 ?更换程序 ?更换产品对应的模具 ?校准吸嘴 ?更换 Saw 程序 进行刀片测高 请根据换刀程序步骤进行刀片测高 ?最后确认 以上步骤做完后,请按以下几点进行最后确认 1:让操作员把相对应的产品放入机器。 2:由技术员检查第一片产品的: 刀痕确认 ,Vision ,和摆放位置。并让R/L操作员确认 产品质量 第六章 VISION BGA Hanmi SSS vision操作 在 Hanmi SSS 机器系统里, 已存储了原始的 vision 检查程序 C:\DB\Teach Data.。根据不 同的产品所做的程序也同时存在 C:\Vision\DB\Teach D

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