射频感应等离子体反应沉积碳化钨.pdfVIP

第 卷第 期 中国有色金属学报 年 月 ! # #)) * $%’! (%’# !# $%#’# ()*+,- ). /).#++)*’ 0#1,-’ +,-’ #)) 文章编号： （ ） !))* ).)/ #)) )# )#0/ )1 射频感应等离子体反应沉积碳化钨! ! # 蒋显亮 ， 2345- 6%7%8 （ 中南大学材料科学与工程学院，长沙 ； !’ *!))0 ， ， ， ， ） #’ 95,3-:;5: %= 45;?@3 AB?55-?B C?D5-8?:E %= F45-G-%%H5 F45-G-%%H5 I!J #K! 33L3 摘 要：用射频感应等离子体将钨粉炭化成碳化钨，对炭化过后的粉末在氩气保护下，于 ! /)) M进行烧结处 理，并对在感应等离子体中钨粉被甲烷炭化的反应过程和在高温基体上碳与沉积物进一步反应的机理进行了研 究。采用扫描电镜和N 射线衍射仪分析了原始钨粉、炭化粉末和反应沉积物的显微组织和成分。结果表明，快速 炭化反应开始于金属钨粉熔化后，颗粒尺寸为1 ; 的钨粉在等离子体中被部分炭化，完全炭化要靠反应沉积物在 ! 高温基体上与碳的进一步反应来实现，经炭化的钨粉在热处理时存在脱碳现象。 关键词：钨粉；甲烷；感应等离子体；碳化钨；炭化过程 中图分类号： 文献标识码： OP !1.’0 + ［，］ 年， 等 ! # 报道了金属钨粉和钛粉在 粉注入感应等离子体中直接沉积出反应产物，研究 !//# F;?:4 直流等离子体中与甲烷反应可以生成碳化钨和碳化 在高温基体上反应沉积物的进一步炭化过程。 钛，直流等离子体体积小，颗粒停留时间短，这些金 在实验的第 部分，将一个水冷不锈钢盆置于 ! 属粉末只能部分碳化，结果形成Q R Q 和O? R O? 复 反应容器底部，感应等离子体发生后，将钨粉通过 ［］ 合材料。 年， 等 报道了感应等离子体可 一个喷嘴注入，用甲烷作为载气，粉末经过感应等 !//1 I?3B 用来反应沉积密度较高的碳化钨和碳化钛。 离子体炭化处理后，在不锈钢盆中收集。在实验第 感应等离子体具有体积大、颗粒停留时间相对 # 部分，将!)) B 经过炭化处理后的粉末样品装入 较长、粉末可从等离子体中心上部注入、无电极污 石墨坩埚，另将!)) B 粉末在1.) HU3 下压制成坯体 ［］ 染等特点* ，已广泛地用于处理和沉积大颗粒Q 样品，放入另外一个石墨坩埚