微型电磁电机及相关工艺技术研讨.pdfVIP

，微型电磁电机及相关工艺技术研究 梁静秋 姚劲松 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130022) 摘 要:提出一种低速大力矩微型电磁电机.在旋转电磁力作用下，电机锥形转于在定 子内锥面上作纯滚动，通过联轴器将其旋转运动辐合枪出。这种电机是采用精密机械的精细 加工技术制作的.与此同时，对与很电机有关的三维徽细加弄技术进行了研究. 关健词二微型 电磁电机 三维微细加于 1 引 言 微电机在微机械领域中的重要地位和在近期内开发为可用产品的可能性，使微电机的研 究无论在理论上还是在实际应用上都具有十分重要的意义。过去研究人员的主要工作集中在 缩小微电机的尺寸上，对于微电机的动力性能考虑得不多。目前，人们己经开始把主要精力 放在提高微电机的性能上，并围绕这一目标开展微电机的基础理论、测试手段及制造工艺等 各方面的工作，这种从实用观点出发的研究方向将更有利于加速微电机实用化步伐。基于对 各类电机性能的充分分析、比较及对电磁式微电机的工作原理和结构方案的深入研究，我们 提出了端面摇摆式微型电磁电机的设计思想，该方案在工作原理上最大可能地避免了摩擦问 思，在相同的输入功率下，可比同体积的其他电机有更大的力矩输出，其鲜明特点是:低速 与大扭矩。本文将介绍这种微电机的工作原理、特点以及与微电机相关的三维微细加工技术 研究。 2 电机 原 理 图1为这种微型电磁电机的结构原理，如图所示，该电机的定子是一内表面为锥面的圆 柱体，它的工作表面是其内锥面。转子是一个锥腔，工作表面是其外锥面。定子的内锥面和 转子的外锥面有一共同的锥顶，它们的锥角存在一定的差值a。在定子内部均匀排布数个线 圈。 Fig1.Thefabricationofthetop-face-swaytop-face-swaymicroelectromagnetdriver. ，本课题由国家攀登计划B、北京正负电子对撞机国家实验室、合肥国家同步辐射实验室及吉林大学集成 光电子学国家重点联合实验室资助， 270 由图2电磁原理图可以看出，当我们对定子内的平面线圈顺序加电时，将在定子内产 生一个旋转磁场。在该磁场所产生的旋转电磁力的作用下，锥腔转子将在定子的内锥面上作 圆周纯滚动。这种运动可分解为转子绕其瞬时轴的旋转及转子相对于锥顶的摆动。位于 锥腔转子与输出轴之间的微型弹性联轴器结构吸收掉转子的摆动，同时将其旋转运动祸合输 出。 Rotor Stator Fig2.Theelectromagnetprincipleofthemicroelectromagnetdriver. 从原理上看，首先，该电机结构充分利用了微电机的有限径向空间以提高线圈电磁力 的作用半径，使之在相同的尺寸和输入功率下产生更大的扭矩输出:其次.该电机利用转子 与定子间的摩擦力使得锥形转子可以在定子内锥表面上作纯滚动，有效降低了能量损耗;此 外，该驱动器将电磁驱动与行星传动原理有机结合在一起，不用外加减速器即可实现低速、 大力矩的性能。 3 技 术 参 数 我们以精细加工方法为主制作了该电机样机。其主要技术参数如下:直径中5mm,驱动 电压4V，转子转速24^-860rpm,连续可调，可正、反转;测得最大扭矩输出为13.如Nm, 马达可在任何方位平稳运转。图3为样机外形。同时，我们还对用其他微细加工方法制作微 电机构件进行了探索。 Fig.3theoutlooktoftheprototypeofthemachine 4相关工艺技术研究 目前，除精密机械的精细加工技术之外，经常用于微电机制作的微加工技术还有以IC 工艺为基础的Si三维微结构制作技术;以同步辐射x射线曝光为基础的LIGA技术;以紫 外光刻为基础的准LIGA技术、以准分子激光刻蚀为基础的激光LIGA技术以及新近开发出 271 来的DEM技术等。应用这些技术制作的三维微结构具有深宽比大，精度高，便于批量生产 等特点。其中LIGA技术、准