微型电容式压力传感器中的温度效应研究.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL Oct．2006 AffectoftheMicro PressureSensor Temperature Capacitive HUANGZhe-lin1，FENG ian2。 Yong-j Engineering，XiamenUniversity，XiamenFujian361005，China； ，1．Dept．ofElectronic 、 Electronic--Mechanical ＼2．Dept．of University，XiamenFujian361005，China／ Engineering，，Xiamen introducesamicro fabricated fusion tech— Abstract：This sensor Si—Si paper capacitivepressure by bonding mainfabricationis isintroducedand tes— nology．The process given．Thetestingequipment analyzed．Some aredoneforthe micro ofthere— tingexperiments producedcapacitivepressuresensors．Throughanalysis suits，ithasbeen thatthis ofmicrosensorhas theeffectof orderto proved type obviously temperature．In achieve and sensorshouldbecalibrated． relativelyhighsensitivitystability，thecapacitivepressure Keywords：sensor；capacitive；temperaturetesting；MEMS EEACC：7230；7320V 微型电容式压力传感器中的温度效应 黄哲琳1，冯勇建2’ (1．厦门大学电子工程系，福建厦门361005；2．厦门大学机电工程系，福建厦门361005) 摘 要：主要介绍了利用硅一硅键合技术制作的微型电容式温度传感器的温度效应，给出了详细的制作工艺．文中对测试装 置进行了详细介绍和深入分析．最后对制作的传感器器件进行了测试，并对测试结果进行分析．结果表明这种微传感器的温 度影响需要校正，否则影响传感器的的线性工作范围． 关键词：传感器；电容式；温度测试；MEMS 中图分类号：TP212 文献标识码：A 随着微电子技术的发展，微型传感器也随之迅 消除传感器的温度影响，就能保证传感器良好