微型电液体动力泵的研讨.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：083131 微型电液体动力泵的研究 教育部传热强化与过程节能重点实验室暨北京市传热与能源利用实验室，北京工业大学，北京， 100124 张强 俞坚 于翮 吴玉庭 马重芳 （Tel：0108210， E-mail: zhangqiang@emails.bjut.edu.cn） 摘要：本文介绍了一种新型冷却技术微型电液动力泵的工作原理，利用镀膜技术在硅片上加工了平 板形状电极的微型电液动力泵。阐述了利用剥离方法来制作微型电液动力泵的电极，研究了利用库 仑力驱动流体流动的电液动力泵的可行性。电极宽度40μm，长度15mm，间距50μm，为90对电极， 每对电极间距 100μm，流体流动的微通道为 100μm 。选用无水乙醇作为工作流体，进行了静压测 试，当电压加到90V时候，产生相当于250Pa的压强。 关键词：镀膜技术；微型电液动力泵；MEMS技术；剥离 1 前言 随着电子元件的越来越小型化，电子技术的不断发展和芯片集成度的不断提高， 导致芯片单位面积上的热量以及电子器件的散热功率不断增加。目前高热流器件的散 热功率已达 106 2 7 2 W/m 的量级，将来会达到 10W/m 的量级。众所周知，芯片表面的温度 和其寿命是成反比的，芯片在高温下长期工作运转，对其寿命是有害的。把单位面积 上如此高的热量散掉成为研究人员重点研究的方向。传统的风冷技术不能满足散掉下 一代芯片工作运转时产生的热量，因此发展一种新的液体冷却技术成为科学人员面临 的新的挑战。 微型电液动力(EHD)泵是一种利用电场力来驱动流体流动的设备，它与传统机械泵 相比:没有运动部件、体积小、可靠性高。同时微型电液动力泵在国际上也是一项比较 新的技术。泵与流动通道整体集成，可设置在流动回路的任何位置，不需要独立空间， 泵体不会产生泄露承压问题。用直流电驱动，不会产生额外的磁场。作为给流体及制 冷剂提供动能的主要部件—EHD 泵，它的发展对于芯片散热性能的改善至关重要。 人类早已发现电场可以驱动电介质流体，但是早期的工作仅仅处于理论层次上， 缺少完整深入地研究和实验支持。Stuetzer[1] [2] 对大型 EHD 泵的进行研究，Pickard 提 出了两个平行电极之间泵压力和电场强度的关系。随着微加工技术（MEMS）的发展， 解决了电极尺寸更小型化，结果不仅泵的运行效果更好，而且降低了施加的电压。 Richater[3] [4] 在硅基板上制作了材料为金的格栅电极；韩国汉城大学 Ahn 和Kim 在玻璃 [5] 基板上制作了材料为金的平板电极；Darabi 对 EHD 泵也作了相关的研究， 电极通过 沉积的方法制作在陶瓷基板上。台湾学者 Yang[6]用 ITO（氧化铟锡）作为电极材料， 利用阳极键合的方法，形成微通道。 目前，从国内外公开发表的文献来看，针对微通道中流体驱动采用电液动力泵的 基金项目：国家自然科学基金资助项目 研究非常少见。对微型电液动力泵的研究，不仅能够解决微电子行业中高热流器件的 冷却问题，在药物微量输送，燃料微量喷射，细胞分离等方面有着重要的应用前景。 2 电液动力泵原理 当在流场中施加一个电场，忽略磁场的影响，流体所受到的力与电场之间的关系 如方程[7