硅中杂质_缺陷对器件制作与性能的影响及控制.pdf

’ 潭州师 院学报 乙 从 宜 , ‘ 夸 年 第 卷 第 期 。 硅 中杂质、 缺 陷对器件制作与性能 的 影 响 及 控 制 胡 耀 棋 一 , 漳州 电子技 术研 究所 漳州 。。。 、 摘要 本文针对硅 中杂质 缺陷对器件制作和性能 的影响进行研 究, 提 出控制杂质 与缺 陷的不 良影 响和提 高器件 的成 品率和优 品率 的途径 。 关扭词 硅 中杂质 , 缺 陷, 晶体含器 件 , 控制 、 硅半导体工艺 中, 硅 中杂质 缺 陷对器件 本文重点探讨二极管和 晶体管 制作和 。 性能的影 响的研究 , 对提 高器件 的性能和高可靠性具有重要 的价值 本文据近年来 国内 。 外有关研 究 , 结合本单位生产实践 , 就 此进 行探讨 了 杂质 与缺 陷对器件制作与性能 的影 响 、 硅 中杂质 缺 陷 以及二者 间的相 互作 用影 响到单 晶的性能 , 因此也影 响 到器件 的制 作 与性能 。 非 金 属一叙碳杂质 的影 晌 硅单 晶 电氧碳含量除了与多晶质量有关外 ,