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微电子机械系统 西北工业大学电子信息学院 主讲教师： 刘 诗 斌 上课班级 主要参考书： 姜岩峰 编著 微电子机械系统 化学工业出版社 第一章：绪 论 英文名称：Micro Electro Mechanical Systems 什么是“微电子机械系统” ？ 一种利用微电子技术制备的集微型传感 器、微型执行器、微结构、微机械 和相应的处理电路于一体的 微型机械装置。 引言 简称：MEMS MEMS 特征尺寸常指0.1~1000μm 大小范围。 微执行器（Microactuator）把电能（或光能、热能、 磁能等）转换为机械动作的微小器件。 例如：微静电马达把电能转换成旋转的机械动作。 微结构（Microsttucture）是在单片上的微小结构。 例如：微型管道。 微机械（Mieromachine）是在单片上的微小机械。 例如：微齿轮、微连杆等。 处理电路（Circuit）包括了有源器件和无源器件， 能实现信号处理与存储的电路。 例如：集成电路。 微传感器（Microsensor）：把非电信号（如力、光、 磁、温度、化学等）转换为电信号的微小型器件。 例如：微压力传感器把压力转换为电信号。 眼睛、耳朵 触觉等 大脑 身体、四肢