微型膜结构全光纤珐珀干涉高温传感器.pdfVIP

第 18卷 第 5期 光学 精密工程 Vo1．18 No．5 2010年 5月 OpticsandPrecisionEngineering M ay2010 文章编号 1004—924X(2010)05—1054—06 微型膜结构全光纤珐珀干 ||=：古目I皿曰传感器 朱 涛 ，柯 涛 ，饶云江 ，段德稳 ，徐 敏 (1．重庆大学 光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室，重庆400044； 2．电子科技大学通信与信息工程学院 宽带光纤传输及通信网 络技术教育部重点实验室，四川 成都610054) 摘要 ：制作 了一种微型膜结构的全光纤在线珐珀干涉式高温传感器。该传感器是在单模光纤端面依次熔接一段大芯径 空芯光纤和一段研磨的多模光纤膜片而构成的，因此 ，温度引起 的珐珀腔光程差改变量 由空芯光纤的热膨胀和温度 引起 腔 内压强改变从而改变膜片的扰度两部分组成 ，从而使相 同温度变化下传感器的光程差变化量更大，分辨率更高。实验 结果表 明，在 100～650℃，该传感器单位温度变化 的光程差变化量约为 1．029nm，温度分辨率约为 1．5℃，测量线性度 约为 0．9967，且滞 回小，重复性好 。这种膜结构的全光纤珐珀干涉式高温传感器因其体积小，温度分辨率高，将在多点 高温测量领域有好 的应用前景 。 关 键 词 ：光纤传感 ；高温传感 器j珐珀干涉仪 ；膜结构 中图分类号 ：TN253 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE1054 M iniatureall-fiberFabry—Perotinterferometric hightemperaturesensorbasedon athin film ZHU Tao ，KETao ，RAOYun—jiang～，DUAN De—wen ，XUMin (1．KeyLaboratoryof0 ￡0eZPc￡r0 cTechnologyandSystems， MinistryofEducation，ChongqingUniversity，Chongqing400044，China； 2．KeyLaboratoryofBroadbandOpticalFiberTransmission Communication NetworkTechnologies，MinistryofEducation，UniversityofElectronic Science TechnologyofChina，Chengdu610054，China) Abstract：A miniatureall—fiberFabry-Perothightemperaturesensorwithathinfilm ispresented．The sensorisfabricatedbysplicingahollow fiberwithagrindedmultimodefiberthinfilm ontheendofa singlemodefiber．ThechangeoftheopticalpathdifferenceoftheFabry—Perotcavityarecomposedof twoparts。thetherrflalexpansionofthehollow fiberand thedeflection ofthethin film inducedby temperaturechange．Astheopticalpathdifferenceofthesensorislangerthanthoseofcommonsen— sorsatthesametemperature，itcanofferahighersensitivity．A temperaturemeasurementexperiment iscarriedout。resultsshowthatthesensorhasaJinearityof0．9967，sensitivityof1．0