新型原子力显微镜的研制及其应用-腐蚀科学与防护技术.pdfVIP

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2018-11-17 发布于天津
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新型原子力显微镜的研制及其应用-腐蚀科学与防护技术.pdf

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新型原子力显微镜的研制及其应用-腐蚀科学与防护技术

31 1 Vol. 31 No . 1 2002 1 ACT A PHOTONICA SINICA January 2002 张冬仙　章海军　李　博　黄　峰 ( , 310027) 研制了一种新型卧式原子力显微镜( AFM) 系统 . 本文介卧式AFM 的工作原理及其简要结构, 讨论反馈控制电路系统的优化设计, 阐述 / 兼容的图象扫描、处理和 Win ow s Dos 显示软件. 基于原子力曲线的测定, 利用AFM 对纳米金刚石薄膜和多孔氧化铝进行了扫描检测. 实验表明, 该AFM 系统具有十分良好的图象重复性、稳定性和衬比( 度) , 仪器的横向分辨率优于 3nm, 纵向分辨率可达 1nm, 最大扫描范围达到5m ×5m. 这些性能为卧式 AFM 在更广泛的纳米技术领域的应用奠定了基础. 原子力显微镜; 卧式; 扫描; 纳米技术 0 20 80 . , 21 , . 1 1 . ( STM) 2 3 ( AFM) ( SPM) AFM , . SPM . , A FM , , . , AFM , . . , . AFM , , , , . AFM , AFM . . , AFM , . / . , STM , 46 . , t AFM F A FM , ( ) Fn . , / , Fn , - , . , . AFM , , , 收稿日期: 2001-05-31 1 . 51 2AFM 1AFM Fig . 2Schem atic iagram of the horizontal AFM syst em . 1 ) , D/ A . Fig Basic concept of optical beam eflection metho use in AFM . 1 , ( Z ) , --( PID) , . ( PSD) , , PSD , , . , , , . , PSD . , AFM , , . , , , , PSD , .X YZ , ( ) , . . , ; 2 , , AFM . AFM , A FM , -,