传感器原理及应用-第3章-应变式传感器PPT.pptVIP

电阻应变式传感器; 第三章 应变式传感器 ;电阻应变片的发展历史; 第三章 应变式传感器 ;§3.1 电阻应变片的工作原理;§3.1 电阻应变片的工作原理;§3.1 电阻应变片的工作原理;半导体应变片又称为压阻式传感器。 基于半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。;?; 第三章 应变式传感器 ;§3.2 电阻应变片的种类;;利用光刻、腐蚀等工艺制成一种很薄的金属箔栅，厚度一般在0.003~0.010 mm，粘贴在基片上，上面再覆盖一层薄膜而制成。 优点： 表面积和截面积之比大，散热条件好，允许通过的电流较大，可制成各种需要的形状，便于批量生产。;金属薄膜应变片是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法，在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。 特点： 这种应变片有较高的灵敏度系数，允许电流密度大，工作温度范围较广。 ; 第三章 应变式传感器 ;变形 物体在外力作用下而改变原来尺寸或形状的现象。 弹性变形 当外力去掉后物体又能完全恢复其原来的尺寸和形状。 弹性元件 具有弹性变形特性的物体。 ;?;?;?;测量结果表明，应变片的灵敏系数一般小于敏感材料的灵敏度系数。;应变片敏感栅的两端为半圆弧形的横栅，测量应变时，构件的轴向应变使敏感栅电阻发生变化，而其横向应变也使敏感栅半圆弧部分的电阻发生变化。 ;机械滞后产生原因： （1）应变片在承受机械应变后的残余变形，使敏感栅电阻发生少量不可逆变化； （2）在制造或粘贴应变片时，敏感栅受到的不适当的变形或粘结剂固化不充分等。;2、零点漂移 定义： 对于粘贴好的应变片，当温度恒定时，不承受应变时，其电阻值随时间增加而变化的特性，称为应变片的零点漂移。;1、电阻值 应变片的电阻值是指应变片没有粘贴且未受应变时，在室温下测定的电阻值，即初始电阻值。 金属电阻应变片的电阻值已标准化，有一定的系列，如60Ω、120Ω、250Ω、350Ω和1000Ω，其中以120Ω最为常用。  ;§3.3 电阻应变片的主要特性; 第三章 应变式传感器 ;§3.4 电阻应变片的测量电路;直流电桥; 2、电压灵敏度; 2、电压灵敏度;（1）非线性误差;（2）减小或??除非线性误差的方法;§3.4 电阻应变片的测量电路 ;?; 第三章 应变式传感器 ;应变式传感器的特点1、应变式传感器的优点;概念：被测物理量为荷重或力的应变式传感器时，统称为应变式力传感器。 用途：各种电子称与材料试验机的测力元件、发动机的推力测试、水坝坝体承载状况监测等。 特点：有较高的灵敏度和稳定性，在受到侧向作用力或力的作用点少量变化时，对输出没有明显的影响。;柱筒式力传感器，应变片粘贴在弹性体外壁应力分布均匀的中间部分。应变片对称地粘贴多片，电桥接线时考虑尽量减小载荷偏心和弯矩影响。横向贴片可提高灵敏度。 ;?;基本结构：由悬臂梁、应变片、质量块、机座外壳组成。悬臂梁（等强度梁）自由端固定质量块，壳体内充满硅油，产生必要的阻尼。 ; 第三章 应变式传感器