传感器原理及应用-第7章 - 磁电式传感器PPT.pptVIP

第七章 磁电式传感器 磁电式传感器的定义 通过磁电作用，被测非电量转换为电信号的传感器。 磁电式传感器的感测量 磁场、速度、位移、加速度、压力、电流等。 磁电式传感器的种类 根据工作原理：感应式、霍尔式等。 7.1 磁电感应式传感器 7.2 霍尔式传感器 7.3 磁电式传感器应用 第七章 磁电式传感器 磁电感应式传感器：利用电磁感应原理将被测量（如振动、位移、转速等）转换成电信号的一种传感器。 有源传感器：不需要辅助电源，就能把被测对象的机械量转换成易于测量的电信号。 特点：输出功率大，性能稳定，具有一定的工作带宽（10～1000 Hz）。 一、磁电感应式传感器概述 §7.1 磁电感应式传感器 根据电磁感应定律，当导体在稳恒均匀磁场中，沿垂直磁场方向运动时，导体内产生的感应电势为   二、磁电感应式传感器工作原理 1、恒磁通式工作原理 §7.1 磁电感应式传感器 磁路系统产生恒定的磁场，磁路中的工作气隙固定不变，因而气隙中磁通也是恒定不变的。 二、磁电感应式传感器工作原理 1、恒磁通式工作原理 弹簧较软，运动部件质量相对较大。 当壳体随被测振动体一起振动频率足够高（远大于传感器固有频率）时，运动部件惯性很大，来不及随振动体一起振动，近乎静止不动，振动能量几乎全被弹簧吸收。 永久磁铁与线圈之间的相对运动速度接近于振动体振动速度，磁铁与线圈的相对运动切割磁力线，从而产生感应电势。 §7.1 磁电感应式传感器 磁电式传感器产生非线性误差的主要原因：电流磁场效应。 三、磁电感应式传感器基本特性 2、磁电传感器的非线性误差 传感器线圈内流过电流时，产生一定的交变磁通，叠加在永久磁铁所产生的工作磁通上，使恒定的气隙磁通变化。 当传感器线圈相对于永久磁铁磁场的运动速度增大时，产生的附加磁场方向与原工作磁场方向相反，减弱了工作磁场的作用，传感器的灵敏度随着被测速度的增大而降低。 传感器电流的磁场效应 §7.1 磁电感应式传感器 三、磁电感应式传感器基本特性 2、磁电传感器的非线性误差 当线圈的运动速度反向时，感应电势、线圈感应电流反向，所产生的附加磁场方向与工作磁场同向，从而增大了传感器的灵敏度。 因此，线圈运动速度方向不同时，传感器的灵敏度具有不同的数值。 传感器灵敏度越高，线圈中电流越大，这种非线性越严重。 传感器电流的磁场效应 §7.1 磁电感应式传感器 三、磁电感应式传感器基本特性 3、磁电传感器的温度误差 当温度变化每摄氏度时，对铜线变化量为dl/l≈0.167×10-4, dR/R≈0.43×10-2，dB/B的变化量决定于永久磁铁的磁性材料。 对铝镍钴永久磁合金，dB/B≈-0.02×10-2，灵敏度随温度变化误差为 这一数值是很可观的，需要进行温度补偿。 热磁分流器补偿： 热磁分流器由具有很大负温度系数的特殊磁性材料做成。 在正常工作温度下已将空气隙磁通分掉一小部分。当温度升高时，热磁分流器的磁导率显著下降，经分流掉的磁通占总磁通的比例较正常工作温度下显著降低，从而保持空气隙的工作磁通不随温度变化，维持传感器灵敏度为常数。 四、磁电感应式传感器测量电路 §7.1 磁电感应式传感器 磁电感应式传感器直接输出电动势，且通常具有高的灵敏度，一般不需要高增益放大器。 磁电感应式传感器是速度传感器，若要获得被测位移或加速度信号，则需配用积分电路或微分电路。 7.1 磁电感应式传感器 7.2 霍尔式传感器 7.3 磁电式传感器应用 第七章 磁电式传感器 霍尔：1879年 设霍尔元件为N型半导体，当通电流I时 fL = eBv 一、霍尔效应 §7.2 霍尔式传感器 当电场力与洛仑兹力相等时，达到动态平衡，有 eEH= eBv 霍尔电场的强度为 EH=vB 霍尔电压UH可表示为 UH = EH b = vBb 流过霍尔元件的电流为 I=nevBd v=I/nebd UH=BI/ned 取RH = 1/ne则有 RH被定义为霍尔元件的霍尔系数。 霍尔系数由半导体材料性质决定，反映材料霍尔效应的强弱。 一、霍尔效应 §7.2 霍尔式传感器 霍尔电压为 霍尔元件的灵敏度： 一个霍尔元件在单位控制电流和单位磁感应强度时产生的霍尔电压的大小。 KH即为霍尔元件的灵敏度。 霍尔电压与材料的性质有关；与元件的尺寸有关。 霍尔元件：基于霍尔效应工作的半导体器件。 霍尔元件材料：多采用N型半导体材料。 霍尔元件组成：霍尔片、四根引线和壳体。 二、霍尔元件的结构与特性 §7.2 霍尔式传感器 最常用的霍尔元件材料有：锗(Ge)、硅(Si)、锑化铟(InSb)、砷化铟(InAs)等半导体材料。 霍尔元件的壳体：用非导磁金属、陶瓷或环氧树脂封装。 1、霍尔元件的构造 霍尔片是一块半导