传感器原理及应用-第5章2PPT.ppt

第五章 压电式传感器 一、压电效应 二、压电材料 三、压电传感器的测量电路 四、压电传感器的应用 主要内容： 本章重点： 压电效应； 压电传感器的测量电路； 压电加速度传感器的动态特性。 1. 了解常用压电材料的压电效应及特点； 2. 掌握压电式传感器测量电路的特点； 3. 掌握压电式加速度计的频率响应特性。 基本要求： 是典型的有源传感器（发电型传感器），以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质表面上产生电荷，从而实现非电量测量。 压电传感元件是力敏感元件，能测量最终能变换为力的物理量，如力、压力、加速度等。 响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量轻，在工程力学、生物医学、石油勘探、声波测井、电声学等许多技术领域获得广泛应用。 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部产生极化现象，同时在它某两个表面上产生等量异种电荷；当外力去掉后，又重新恢复不带电状态的现象。 §5-1 压电效应 正压电效应 当作用力方向改变时，电荷极性也会随之改变。 天然石英晶体的外形是六角棱柱体，在晶体学中可用三根互相垂直的轴来表示。 图5-1 石英晶体 (a)理想石英晶体的外形 (b)坐标系 一、石英晶体的压电效应 其中：纵向轴Z－Z称为光轴；经过棱线，并垂直于光轴的X－X轴称为电轴；与X－X轴和Z－Z轴同时垂直的Y－Y轴（垂直于棱面）称为机械轴。 纵向压电效应—沿电轴X－X方向的力作用下产生电荷的压电效应； 横向压电效应—沿机械轴Y－Y方向的力作用下产生电荷的压电效应； 沿光轴Z－Z方向受力不产生压电效应。 图5-2 硅氧离子的排列示意图 （a） 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影 石英晶体压电效应由其内部结构决定 组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在Z平面投影，如图(a)。将这些硅、氧离子等效为图(b)中正六边形排列，图中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。 ①FX=0时，正、负离子（即Si4+和2O2-）正好分布在正六边形顶角上，形成三个互成120º夹角的电偶极矩P1、P2、P3，如图示。此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 石英晶体受外力作用时晶格的变化情况 1、只受力FX作用 图5-2 石英晶体的压电效应 ②当晶体受到沿X方向的压力（FX0）作用时，沿X方向产生收缩，正、负离子相对位置随之发生变化，如图（b）所示。此时正、负电荷中心不再重合，电偶极矩在X方向的分量为 在Y、Z方向上的分量为 即：在X轴的正向出现正电荷，在Y、Z轴方向则不出现电荷。 ③当晶体受到沿X方向的拉力（FX＞0）作用时，其变化情况如图（c）。此时电极矩的三个分量为 即在X轴正向出现负电荷，Y、Z方向不出现电荷。 可见，当晶体只受到FX作用时，在X方向产生了正压电效应，即纵向压电效应，而Y、Z方向则不产生压电效应。 晶体在只受FY作用下的情况与只受FX相似。当FY＞0时，晶体的形变与图（b）相似；当FY＜0时，则与图（c）相似。 可见，晶体在只受FY作用下，在X方向产生了正压电效应——横向压电效应，在Y、Z方向不产生压电效应。 2、只受力FY作用 石英晶体在只受FZ的作用下，因为晶体沿X方向和沿Y方向所产生的正应变完全相同，所以，正、负电荷中心保持重合，电偶极矩矢量和仍等于零。这表明：只受FZ作用时，石英晶体不产生压电效应。 3、只受力FZ作用 从石英晶体上切下一平行六面体，使它的晶面分别平行于X、Y、Z轴，如图。在垂直X轴方向用真空镀膜或沉银法得到电极面，即为晶片。 当晶片受到沿X轴方向的压缩应力σXX作用时，将产生厚度变形，并发生极化现象。在晶体线性弹性范围内，极化强度PXX与应力σXX成正比，即 图5-4 石英晶体切片 石英晶片受外力作用时的变化情况 1、纵向压电效应 式中 ： d11——纵向压电系数，d11=2.3×10-12CN-1； l、b——石英晶片的长度和宽度。 式中：qX——在垂直于X轴平面上产生的电荷。 极化强度PXX在数值上等于晶面上电荷密度，即 将上两式整理，得 该石英晶片极间电压为 逆压电效应，晶体在X轴方向产生伸缩，即 或用应变表示，则 式中 EX——X轴方向上的电场强度。 在X轴方向施加压力时，左旋石英晶体的X轴正向带正电；如果作用力FX改为拉力，则在垂直于X轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反，见图(a)、(b)。 图5-5 晶片上电荷极性与受力方向关系 如果作用