MOEMS技术在光通信器件研制中的应用研究.pdfVIP

MOEMS技术在光通信器件研制中的应用 龙强 韩光 西安电子科技大学微电子学院 西安710071 摘要：随着世界通信业务量的飞速增长，高速大容量的宽带综合业务数字网(B—ISDN)已成为 现代通信网络的发展趋势，其中全光通信网技术已成为国际上的研究热点。但是，光通信器件的 价格和微型化成为光传送网发展的瓶颈，因此，光传送网中高性能、低价位光学元器件是降低光 传送网成本的关键。目前，应用微光机电(MOEMS)技术研制多种光器件，为解决这一瓶颈问题 提供了有效途径。预计这种技术在本世纪将会形成新的高技术产业的增长点。本文重点介绍各种 光通信器件，以期读者对MOEMS技术在光通信器件中的应用有一个了解。 关键词：微光机电 光通信光开关 光纤耦合器光调制器 1．引言 在传统的光纤网络中存在大量的光／电、电／光转换节点和数字交叉互联电分插复用器，既限制了网络的 交换速度，又对不同形式的光信号是不透明的。光功能器件和波导或光纤的连接需要亚微米的定位精度(精 密定位是复杂的调整操作)，所以提高了光功能器件的成本，限制了光传送网的发展。光／电、电／光器件的微 型化也是很难解决的问题。因此，光通信器件的价格和微型化已成为光传送网发展的瓶颈。目前，MOEMS 技术是解决这一瓶颈问题的有效途径。 它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统，该系统中的微光学元件在微电 子和微机械装置的作用下能够对光束进行汇聚、衍射和反射等控制，从而可最终实现光开关、衰减、扫描和 成像等功能。该系统把微光学元件、微电子和微机械装置有机地集成在一起，能够充分发挥三者的综合性能， 不仅能够使光学系统微型化而降低成本，而且可实现光学元件问的自对准，更重要的是这种组合还会产生新 的光学器件和装置。光通信涉及的许多光有源，无源器件等都可利用MOEMS技术完成微光学系统的制造。 本文将主要介绍MOEMS光开关，光纤耦合器，光调制器。 2．MOEMS光开关 光开关，其最大的特点是可利用成熟的CMOS超大规模集成电路的基本工艺制作出微镜和微致动器，即在硅 片上用微加工技术做出大量可移动的微型镜片构成的开关阵列。图1是光开关的工作原理图，从中可以发现 关键的部件就是微镜和微致动器【4】。 微镜是光开关的主要元件之一，加工工艺主要有两种方式，即表面硅微加工和体硅微加工。表面硅微加 工方法就是先在水平方向上刻蚀出微镜，然后通过相应的机构(如铰链)，利用热变形等原理将所加工的微镜 旋转900，并用固定机构将微镜固紧。使微镜旋转并固紧的机构是利用MEMS加工工艺与微镜和微致动器一 起加工出来的，通电后即可自动完成微镜阵列的装配(即旋转与固紧)。这里要注意的是：利用深层离子刻蚀 是所刻蚀的微镜不能形成一个理想的平面，只有最上端的一部分可作为微镜使用。因为体硅微加工可以进行 高和宽比较大的加工，如果具备体硅微加工设备，用其制作微镜是较好的选择。微镜刻蚀完后，还不能直接 使用，需在其刻蚀表面镀膜，镀膜材料与镀膜工艺将影响光的反射质量，常用的镀膜材料主要有金、银和铜 等。另外，所刻蚀微镜的表面粗糙度对镀膜质量影响很大b1。 微致动器是光开关的另一个主要元件，它的结构要复杂得多，因此其制造也很复杂。常用的微致动器按 302 致动原理分有静电式、压电式、电磁式和热致动式等几种。压电式微致动器利用了电场变化引起压电材料膨 胀的原理，使微镜在一定范围内移动，其特点是位移控制精确并且加工简单；但由于其具有移动范围小、电 压要求大等缺陷，因此在光开关中还未获得广泛应用。静电式微致动器是通过绝缘体介质(如对空气间隙隔 离的两个电容器平板)施加电压从而产生静电力的原理，使微镜在一定范围内移动的，其特点是电极间的间 隙可做得很小。同时，现有的硅技术允许在一个片子上把电极设计成一体，因此静电梳状微致动器在微镜型 光开关中获得了广泛应用。电磁式微致动器采用电磁线圈加载使微镜致动的原理，因其移动范围较大，被一 些光开关样机采用。热致动式微致动器采用材料受热变形原理来实现微镜的致动，该种微致动器也是微镜型 光开关中应用较广的类型之一。不管是哪一种微致动器，在加工过程中均需将有关材料进行多次沉积和刻蚀， 最后才能加工出满足移入／移出或转入／转出要求的微致动器p】。 图1 光开关的工作原理图 3．光纤耦合器Ⅱ叫 光纤耦合器是光通信中的一个重要元件，也是一种无源器