面向RF+IC的片上铁氧体磁膜电感研究.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 CHINESEJOURNAL 0ct．2006 On-Chip InductorswithFerriteThin-FilmsforRFIC Integrated YANG Chen，L，UFeng，RENTian—ling+，LIULi—tian (Institute 100084，China) ofMicroelectronics，Tsingh№University，Beijing RF inductorswithkindsofferrite Abstract：On—chipintegrated thin-films(Nio．4Zno．4Cuo．2Fe204，Y2．8Bio．2 and beenfabricatedIC ferritethin-films Fe5012 C07Zr09)have using processes．The prepared compatible methodshow forRFinductor byspin-coated goodmagneticperformance applications．The characteristicsofinductor are and the circuit．Theex- samplestested，comparedanalyzedusingequivalent demonstrate that，ferritethin-film theinductor periments integrationimproves performance isa to inductorsforRFIC． which achieve promisingway supercompacthigh_performanceon--chip IC words：Ferritethin-film；Inductor；RF Key EEACC：3110E；2140；2570D 面向RF IC的片上铁氧体磁膜电感 杨 晨，刘 锋，任天令+，刘理天 (清华大学微电子学研究所，北京100084) 摘 用溶胶凝胶法制作，高频特性较好，适于片上电感的应用．对电感样品进行了测试和等效电路分析，结果表明，与无磁膜结构 相对比，铁氧体磁膜电感显著增强了电感性能，是一种实现小尺寸、高性能片上RFIC电感的很有前景的途径． 关键词：铁氧体薄膜；电感；射频集成电路 中图分类号：TN409 文献标识码：A 集成电感是射频集成电路(RFIC)最基础的无 究了多种方法来减小损耗．如使用MEMS工艺制作 源元件．目前，要实现足够大电感值(L)、足够高品 悬浮或螺线管结构、采用特殊高阻衬底、引入图形化 质因数(Q)、足够小面积的集成微电感依然存在很 金属屏蔽等等[2‘3]．采用这些方法虽然取得了一些实 大难度，阻碍了RF电路