一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法.pdfVIP

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2018-04-07 发布于北京
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一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法.pdf

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第21卷第2期传感技术学报 v0I．21No．2 2008年2月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Feb．2008 of Axis AMethodof the Lateral SimulatingDecouplingProperty Micro FiniteElementTool+ GyroscopeUsing Gui—zhen’ Jian，YANGZhen-chuan，YAN LUBo，LIUXue-song，CUI (Institute Microelectronics，PekingUniversity，BeOing100871，China) of newmethodof theharmonic of kindoffiniteelementtool，is Abstract：A using analysisANSYSTM，a pro- cansimulatethe of undertheworkmode thismeth— posed．It displacementsgyroscope frequencies．Using arealsoverified od，themechanical betweentheworkmodesaresimulated，which couplingproperties by the of inthe of testresults．Thismethodcanalsosimulate presence performancegyroscope iscaused thefabrication resultsalsoshowthatthe imperfections，whichduring process．Simulated doubly the suppressasymmetricalimperfections． decoupledpropertyhelps element Keywords：gyroscope；mechanicalcoupling；finitetool；harmonicanalysis EEACC：7630；2575；0290T 一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法* 吕博，刘雪松，崔健，杨振川，闫桂珍。 (北京大学微电子系，微米／纳米加工技术国家级重点实验室，北京100871) 摘要：提出了一种用有限元工具ANSYSTM的谐响应分析功能仿真陀螺在模态频率下位移的方法。利用这种方法，仿真得到了陀螺模态间的机械耦合，并通过