调谐半导体激光吸收光谱监测大气痕量气体研讨.pdfVIP

调谐半导体激光吸收光谱监测大气痕量气体研究 刘建国 刘文清 阚瑞峰 张玉钧 （中国科学院安徽光学精密机械研究所环境光学与技术重点实验室 合肥 230031） 摘 要:调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS ）技术是利用二极管激光器波长调谐特性，获得被 测气体的特征吸收光谱范围内的吸收光谱，从而对污染气体进行定性或者定量分析。在空气痕量气 体检测中，一般需要和长光程吸收池相结合使用。调谐半导体激光吸收光谱法就是在调谐半导体激 光器与长光程吸收池技术相结合的基础上发展起来的一种新的痕量气体检测方法。这种方法不仅精 度较高，选择性强而且响应速度快。已经广泛用于大气中多种痕量气体的检测以及地面的痕量气体 和气体泄漏的检测。本文介绍了一种TDLAS 系统的浓度标定方法，从理论上进行了分析，然后通过 实验证明了这种方法的可行性。 关键词：调谐半导体激光器；激光光谱；多次反射池 1. 引 言 随着环境的恶化，人类已经认识到保护环境的重要性。各种环境污染都严重影响着人类生活， 如：水污染、大气污染等。为了对大气污染进行研究，已经研制了对多种痕量气体（如：CO ,CO, NO , 2 2 NO 和CH 等）进行监测的调谐半导体激光吸收光谱仪。其中CO 和CH 是与温室效应密切相关的 4 2 4 -6 [1] 两种痕量气体。甲烷在空气中的体积含量大约为1.16ppmv （10 ） ，远远低于二氧化碳的含量，但 是温室效应有26%是由于甲烷引起的，CH [2] 4 对温室效应的作用是CO2 的22 倍 。精确测量地面不同 环境空气中甲烷的含量对于分析大气中甲烷的来源是非常必要的，能够为大气化学的研究提供非常 重要的依据。 TDLAS 是利用二极管激光器波长扫描特性，获得被测气体的特征吸收光谱范围内的吸收光谱， 从而对污染气体进行定性或者定量分析。在空气中痕量气体的检测中，一般需要和长光程吸收池相 结合使用来降低仪器的检测限。这种方法具有高灵敏度、高选择性及快速测量等特点。在对痕量气 体的定量分析过程中最重要的问题是如何提高系统的测量精度。本文介绍了我们实验室研制的一套 便携式地面空气中甲烷监测装置的浓度定量方法，论述了该方法的原理，并通过实验证明了该方法 的可行性。 2. 实验装置 由于大气中的痕量气体含量都比较低，为了降低仪器的检测下限使之能够满足对痕量气体检测 的要求，需要通过增加光程来实现。增加光程的方法有多次反射池[2-5]、开放光路等，对于开光路方 法只能测量光路内的平均浓度[6] ，而且不易做成便携式的监测仪器。因此在实验装置中采用了多次 反射池增加光程的方法。 TDLAS 测量痕量气体浓度是基于对气体分子吸收线的探测，而吸收线的频率及线形是气体分子 的固有特性。该方法主要用来进行一些高灵敏度的探测。本文采用调谐半导体激光器与0.5m 长的多 次反射池相结合，通过甲烷气体在1.65µm 波长附近吸收谱线的二次谐波来检测空气中的甲烷含量， 然后用已知浓度甲烷气体的标准谱线拟合得到空气中甲烷的浓度。该激光器在波长为1.65µm 附近输 出功率为5mW 。图1 为本实验装置的原理图；二极管激光器的调制部分由我们实验室研制设计的电 路来产生50Hz 的锯齿和5kHz 的正弦调制信号。激光器输出的激光波长随锯齿波而改变,其波长调谐 范围为0.214nm，波长扫描过甲烷在1.65µm 波长附近的吸收峰。激光器由温度控制板和电源板来保 证其温度和输出功率的稳定。激光器的尾纤与一个分束器相连，将输出的激光分为两部分：一部分 通过光纤另外一端的自聚焦透镜以平行光出射，经过参考池然