磷扩散对晶体硅太阳电池发射结钝化和吸杂作用的研讨.pdfVIP

晶体硅太阳电池及材料．53． 磷扩散对晶体硅太阳电池发射结钝化和 吸杂作用的研究 ．。 崔容强1 罗培青1李友杰1．黄建华1 姚桂华2张小灰2王玉亭2陈’坤2 1上海交通大学物理系太阳能研究所交大林洋太阳能光伏研发中心上海200240 2江苏林洋新能源有限公司江苏启东226200。 。 【摘要】 一直以来，有人认为磷扩散对晶体硅太阳电池只有发射结钝化，有人认为只有 吸杂，还有的人认为两者皆而有之，但都没有形成统一认识。本文通过采用碘 酒对晶体硅进行表面化学钝化，减少了表面复合对少子寿命的影响。通过对比 在不同磷扩散条件下，扩散前、扩散后和腐蚀掉PN结之后少子寿命的变化， 研究了磷扩散对晶体硅太阳电池发射结钝化和吸杂用的影响。其结果表明，当 磷扩散在20～30Q／口时，发射结钝化占主导地位，同时还有一定的吸杂作用。 当采用40甜口磷扩散工艺时，我们得到了不同的结果。但有趣的是我们得到了 腐蚀掉PN结之后的少子寿命比扩散后的少子寿命还要大很多的现象，似乎只 有吸杂作用，但还需要进一步的研究。 【关键词】 晶体硅太阳电池发射结钝化吸杂少子寿命 Passivation。andof ResearchonEmitter GetteringCrystalline SiliconSolarCells Diffusion byPhosphorus ● 。^ LuoP．Q．1 LiY．J．1 J．H．1 CuiR．Q．1YaoG．H．2 Y．T2ChenK．2 Huang Zhang×．Q2Wang 1S．ITU·Solarfun Shanghai／iaoTongUniversity，shanghai，200240 ‘． 2 Solarfun JiangsuLinyang Co．。Ltd．，QidongJiangsu，226200 0引言 一直以来有人认为磷扩散对晶体硅太阳电池只有发射结钝化，有人认为只有吸杂，还有 的人认为两者皆有，但都没有统一认识。对这方面的研究有种较普遍采用的方法，就是测量 磷扩散前后晶体硅体寿命变化，但体寿命测试受到表面复合影响很难精确测引11。因此我们 必须尽量减少表面复合，使我们测试的少子寿命更接近于体寿命。减少表面复合较常用的是 ．54· 中国太阳能光伏进展 HF酸表面钝化，但HF酸钝化存在两个问题：①钝化效果与时间有关，并随时间推移，钝 化效果逐步减弱；②HF酸本身有毒，挥发出的蒸汽以及溅出的溶液容易对人体、测试仪器 造成永久性腐蚀损伤，在实验过程中很不安全。 本文采用稳定性好，无腐蚀且表面钝化效果比’HF酸更好的碘酒对晶体硅进行表面化学 钝化，大大减少了表面复合对少子寿命的影响口，习：通过对比在不同磷扩散条件下，扩散前、 扩散后和腐蚀掉PN结后晶体硅有效少子寿命的变化，研究了磷扩散对晶体硅太阳电池发射 结钝化和吸杂作用的影响。 1实验 样品基片为[100l晶向p型单晶