离子注入机主计算机控制软件设计研究.pdfVIP

2005年12月 第十三届全国电子柬·离子束·光子束学术年会 湖南·长沙 离子注入机主计算机控制软件设计 郭忠君 (中国电子科技集团公司第四十八研究所，长沙410111) 摘要：设计了一种离子注入机主计算机控制软件，用于对离子注入机进行实时监测和控制。其中 主计算机与子控制器通讯是利用VB的MSComm控件来实现的；文中给出了具体程序设计方法以及 数据处理的技巧，调试结果表明程序运行稳定。有效。 关键词：离子注人机主计算机CRC校验 1引肓 计算机控制技术是离子注入机的关键技术之一，控制系统的可嚣性、可操作性、可维修性以及自 动化程度等都是衡量离子注入设备先进性的重要标志。本文讨论的离子注入机主计算机控制软件是 针对课题组承担的强流型氧离子注人机研制的一种应用软件。该软件在原有主计算机控制软件的基 础上重点解决了控制系统数据通信不可靠以及自动化程度不高等问题。经过一年来的上机实际操作， 运行结果表明该程序稳定可靠，采用MSComm控件和CRC校验有效地解决了控制系统通讯不可靠的 问题。而专家智能控制的使用则有效地提高了整机的自动化程度。 2主要任务及技术要求 整机对主计算机控制系统提出的主要任务及技术要求如下： ●实行系统管理，设置用户登录权限 ●实时监测机器状态，对机器进行联锁监控和安全保护 ●检查操作过程和注人过程．记录历史数据，包括记录整机工作参数、晶片特征参数、注人预置 一 参数和过程参数、异常情况(含故障报警)及操作失误等 ●自动建立系统真空 ●控制并实时监测注入过程中的晶片自动装卸、束流剂量积分以及束均匀性控制等 ●根据工艺菜单参数自动调整离子源、束线电源、靶盘等的工作状态，实现离子束的自动引束和 自动注入，调节离子源和离子束流至最佳工作状态 ●利用面板、曲线图、表格显示实时数据和历史数据，并实现数据的自动存储、预览、查询和报表 打印 ●故障自诊断和报警 ●以全中文可视化多窗口图形界面显示整机的状态参数和操作界面，人机界面友好，易于操作 和维护 ●提供必要的操作和维护帮助信息 3CriCket 主计算机软件以Windows 7．0可视化集成开发工具编制主计 2000系统为操作平台，采用Odphi 一182— 2005年12月 第十三届套日电子柬·离子束·光子束拳术牛套 湖南·长沙 算机操作控制程序，按功能模块化的方法进行软件编程，软件结构框图如图1所示 图l软件结构图 数据通讯模块的设计将直接影响主计算机对整机进行实时而有效的控制，通讯故障率高意味着 上传的数据主计算机无法有效接收而下传的指令无法安全抵达子控制器。通讯故障率高在离子注入 机的实际操作过程中主要表现为部件反应迟缓和命令需要重复多次的执行。因 起始符 此。在进行本控制系统的设计过程中，我们充分考虑并认真研究了原有控制系统。 起始符 硬件部分采用MOXA公司生产的多端rtRS一232串口扩展卡C168l卯CI，软件部 命令字 分采用VB中的MSComm控件来作为通信控件，一个MSComm控件对应一个B．S一 变量号 232串行通讯口。通讯数据包结构如右图所示，其中第一、二字节为通信起始符，接 下来的字节分别为命令字、变量号、传输数据、校验码。通讯数据包的长度根据实