超导薄膜表面电阻测试方法及误差分析研究.pdf

第 卷 第 期 低 温 物 理 学 报 ! ! # $%’! (%’# !! !! !! !! !! 年 月 +,-(./.0123(4516517 8.9:.34823.:,;/-+/ ! !))# ** (%’ !))# 超导薄膜表面电阻测试方法及误差分析 张 旭 周铁戈 孙冬艳 何 明 ! !! !! !! ! 方 兰 阎少林 ! !! 南开大学电子科学系! 天津 =)))* ! ! 本文介绍一种蓝宝石加载单端短路谐振腔测量高温超导薄膜的方法!并对测量误差进 ! ! 行了较详细的分析 造成测量误差的主要因素有三个系统无载品质因数 的测量误差! ’ K ) 超导薄膜以外损耗品质因数 的实验误差!以及在谐振腔内超导薄膜的几何参数 的 K L %UXIJ 计算误差 大量的实验结果表明!本方法操作简便!重复性好!测量精度高!相对测量误差不 ’ 超过 *)c’ 关键词!介质谐振腔!高温超导薄膜!微波表面电阻 ! ’(( ?=)6 ?# *引 言 !! 随着高温超导技术的发展!高温超导薄膜在无线通信#量子计算方面应用日益广泛 大 ’ 面积超导薄膜逐步实现商品化#产业化 微波表面电阻是衡量超导薄膜特性好坏的重要指标 ’ 之一 对于超导薄膜的制备及其在无源器件$滤波器#谐振器等%上的应用!高温超导薄膜表 ’ !’ 面电阻的精确测量是非常重要的* ! 现有的测量方法中!介质谐振器法是公认较好的测量 ’ ’ = 方法 国际上正在制定基于双端短路介质谐振器 的表面电阻国际测试标准 这种装置的测 ’ ’ 量精度较高!重复性较好!但是操作过程复杂!测试装置输入输出端耦合的一致性很难调整! 同时测量结果只能是两片超导薄膜的表面电阻平均值 据我们所知!超导薄膜表面电阻的国 ’ 际标准测试误差小于 我们提出了一种单端短路加载介质谐振腔高温超导