径向剪切干涉仪研究.pdf

第37卷，增刊 红外与激光工程 2008年9月 V01．37 InfraredandLaser Supplement Engineering Sep．2008 径向剪切干涉仪 冯胜，吴健，郑春燕 (电子科技大学 光电信息学院，四川 成都610054) 摘要：介绍了径向剪切干涉仪的工作原理、类型，分析了其面-I当的技术难题和各自优缺点。综述了 径向剪切干涉仪的发展状况，讨论了它在光信息检测中的重要作用。 关键词：径向剪切干涉仪； 光信息检测 中图分类号：TN761文献标识码：A Radial interferometer shearing FENG Jian，ZHENG Sheng，WU Chun—yah ofElectronicScience (SchoolofOpt0一ElectronicInformation，University andTechnologyofChina,Chengdu610054．China) and ofradial interferometerare the types sheafing presented，and Abstract：Principles advantages， and are ofradial interferometerare disadvantagesproblemsexistinganalyzed．Developmentssheafing of informationisdiscussed． reviewedandits roleinmeasurement important optical words：Radial of information interferometer；Measurement Key shearing optical 0引言 仪，同样采用会聚光照明，它通过两个焦距不同的组 合透镜实现两波面的缩放，曾被成功地用于检验显微 波前剪切干涉仪的研究与应用克服了传统干涉 仪的某些不足。剪切方式除了横向径向，还有旋转以 统的循环式径向剪切干涉仪，即所谓的“三平板”径向 及翻转剪切的方式【I。2J。在非对称畸变波面检测中， 横向剪切干涉仪(LSI)存在一些不足，最主要的是 由于干涉图形不能直接给出波差值，其次横向剪切干 了一台利用压电陶瓷作为位相调制器的准外差径向剪 涉仪器不仅需要两个正交方向上且剪切量不同的多 切干涉仪，并通过Zinek多项式拟合的方式得到了被 幅剪切干涉图13刮，而且它只能对波前再叠区域进行 检测波前的相位分布，直到现在人们还在对它进行研 检测，径向剪切干涉仪(RSI)克服以上不足。它通常 Kohno等利用