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复舍材料学报 第23卷 第5期 10月 2006芷
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文章编号：1000-3851(2006)05一0029一05
超声振荡辅助制备铜基碳纳米管复合电镀层工艺
王裕超，丁桂甫。，吴惠箐，汪 红，姚锦元
(上海交通大学微纳科学技术研究院，微米纳米加工技术国家重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200030)
摘 要： 为解决碳纳米管在铜基体中的分散与结合两个问题，运用超声振荡辅助复合电镀制备铜基碳纳米管
(Cu／cNTs)复合镀层。利用场发射扫描电镜进行观察，复合镀层微观表面平整，碳纳米管在基体中均匀分散，其
与基体结合良好。依据实验结果对超声振荡在复合电镀过程中发挥作用的机制给出了初步的解释。
关键词：碳纳米管；复合电镀；铜基复合镀层；超声振荡
中图分类号：TB333文献标识码：A
Technicsresearchof nanotubes
Cu／carbon
depositing composite
withultrasonic
coatingby agitation
electroplating
WANG
Yuchao，DING
Ouipu。，WUHuiqing，WANGHong，YAOJinyuan
of Fabrication forThinFilmandMicrofabficationof
(NationalLaboratoryNano／Micro Technology，KeyLaboratory Ministry
Key
NanoScienceand
ofEducation，InstituteofMicro Jiao 200030，China)
Technology，ShanghaiTongUniversity，Shanghai
tO the inthe and theinterconnec—
Abstract：Inorder carbon composite
disperse nanotubes(CNTs)equablydevelop
withthe of em—
tionbetweenCNTsandthe aid ultrasonic WaS
coppermatrix，compositeeleetroplating agitation
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ployed copper／CNTscompositecoatings．SEM morphology．It
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